掩膜板及其制作方法、掩膜板组件技术

本申请提供一种掩膜板及其制作方法、掩膜板组件。其中的掩膜板，包括形成多个开口的多个肋条和外围连接部，其中，还包括多个牵引部；牵引部设置于外围连接部的外侧，包括主牵引部和辅助牵引部；主牵引部与至少一个肋条同轴；主牵引部与同轴的肋条连接，或者，与外围连接部连接有同轴的肋条的位置连接；辅助牵引部与主牵引部具有夹角，辅助牵引部一端与主牵引部的侧边连接，另一端与外围连接部没有连接肋条的位置连接。该掩膜板后续进行张网时，夹爪夹持于主牵引部，施加的张网拉力方向与主牵引部的延伸方向一致，当主牵引部牵拉掩膜板向外伸展的同时，辅助牵引部也会给主牵引部两侧的外围连接部传递拉力，从而抑制该部分外围连接部向开口内变形。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及oled显示面板，尤其涉及一种掩膜板及其制作方法、掩膜板组件。

技术介绍

1、掩膜板是oled(organic light-emitting diode，有机发光二极管)显示面板在制备过程中的重要治具，主要用于在有机材料蒸镀，或者在形成封装层等过程中，对膜层材料的沉积区域进行限制。

2、掩膜板组件由掩膜板与金属框架接合在一起制成，其中的金属框架主要用于维持掩膜板经张紧后的平整绷紧的形态。

3、目前针对掩膜板组件的制作，常用的方法是，将母板蚀刻为整张带网格图形的掩膜板，然后通过专用的张网设备对掩膜板进行张网，张网过程中通过拉伸、调节等步骤使掩膜板充分展开，形成具有高平整度和高精度的绷紧状态的网面，并将网面与具有相对坚固结构的金属框架接合(一般是焊接)在一起，即得到掩膜板组件。

4、伴随着显示面板的产线世代的不断迭代，需求的掩膜板尺寸也越来越大。对于g8.5代以后的新世代产线的掩膜板(例如，g8.6代，尺寸1500mm×1850mm)，由于掩膜网面尺寸大幅度增加，造成张网时掩膜网面的平整度难以控制，诸如下垂量严重、本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种掩膜板，包括形成多个开口(100)的多个肋条(200)和外围连接部(300)，其特征在于，还包括多个牵引部(400)；

2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，至少部分所述牵引部(400)包括：以所述主牵引部(401)为对称轴，对称设置的至少两个辅助牵引部(402)。

3.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，在至少部分所述牵引部(400)中：

4.根据权利要求3所述的掩膜板，其特征在于，位于所述主牵引部(401)相同一侧的至少两个辅助牵引部(402)平行。

5.根据权利要求1至4任一项所述的掩膜板，其特征在于，所述夹角(θ)...

【技术特征摘要】

1.一种掩膜板，包括形成多个开口(100)的多个肋条(200)和外围连接部(300)，其特征在于，还包括多个牵引部(400)；

2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，至少部分所述牵引部(400)包括：以所述主牵引部(401)为对称轴，对称设置的至少两个辅助牵引部(402)。

3.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，在至少部分所述牵引部(400)中：

4.根据权利要求3所述的掩膜板，其特征在于，位于所述主牵引部(401)相同一侧的至少两个辅助牵引部(402)平行。

5.根据权利要求1至4任一项所述的掩膜板，其特征在于，所述夹角(θ)取值为20度至50度。

6.根据权利要求5所述的掩膜板，其特征在于，所述夹角(θ)取值为30度至40度。

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【专利技术属性】
技术研发人员：张蔡星，甘帅燕，钱超，
申请(专利权)人：江苏高光半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：