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本申请提供一种掩膜板及其制作方法、掩膜板组件。其中的掩膜板，包括形成多个开口的多个肋条和外围连接部，其中，还包括多个牵引部；牵引部设置于外围连接部的外侧，包括主牵引部和辅助牵引部；主牵引部与至少一个肋条同轴；主牵引部与同轴的肋条连接，或者，...
该专利属于江苏高光半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏高光半导体材料有限公司授权不得商用。

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