【技术实现步骤摘要】
本申请涉及原子力显微镜，例如涉及一种探针跟踪装置及原子力显微镜。
技术介绍
1、目前，原子力显微镜是纳米
的关键设备，以其卓越的表面分析能力而广泛应用于多个学科。原子力显微镜采用光杠杆技术来感知微悬臂针尖在原子力作用下的微小偏转，该检测机制不仅成熟，而且具有极高的测量精度。在样品扫描式的原子力显微镜中，样品必须放置在扫描器的顶部，使得样品扫描式原子力显微镜的设计存在一定的局限性，相比之下，针尖扫描式原子力显微镜更具优势。然而，针尖扫描式原子力显微镜在扫描过程中，如何确保微悬臂针尖背面的聚焦光点与针尖保持相对静止，以及如何保证反射光斑的中心精确对位置探测器，都是亟需解决的关键问题。
2、相关技术公开了一种使用扫描探针显微镜的表面成像方法，包括：跨表面横向扫描探针，使得探针进行跨表面的扫描运动；经转向镜将检测光束转向到探针上，检测光束以返回光束的形式从探针反射；移动转向镜，使检测光束进行与扫描运动同步的跟踪运动，并且通过转向镜保持检测光束转向到探针上；使用返回光束获得图像测量值，每个图像测量值表示表面上相应点的测量高度；通...
【技术保护点】
1.一种探针跟踪装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，位置探测器设置于第一会聚镜的焦点处，用于将探针反射的检测光聚焦于位置探测器上。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，位移组件包括：
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：
6.根据权利要求1至3中任一项所述的装置，其特征在于，还包括：
7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，观察组件包括：
8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种探针跟踪装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，位置探测器设置于第一会聚镜的焦点处，用于将探针反射的检测光聚焦于位置探测器上。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，位移组件包括：
5.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：张金娥，魏家琦，张学莹，王麟，
申请(专利权)人：致真精仪北京科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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