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本申请涉及原子力显微镜技术领域，公开一种探针跟踪装置，包括：探针和光路组件。光路组件包括光源、可转动反射镜、第一凸透镜和第一会聚镜；其中，光源用于产生检测光，可转动反射镜用于反射检测光，第一凸透镜的焦点位于可转动反射镜反射检测光的位置处，第...
该专利属于致真精仪（北京）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过致真精仪（北京）科技有限公司授权不得商用。

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