一种形貌复合式量测仪制造技术

本技术公开了一种形貌复合式量测仪，包括机架，机架上端安装有固定基座。固定基座的上方安装有支撑组件。Y轴运动模组穿过支撑组件与固定基座之间的间隔部分并布设在固定基座上。Y轴运动模组与Y轴移动平台滑动连接。支撑组件上横向布置有X轴运动模组。X轴运动模组与X轴移动平台滑动连接。X轴移动平台上安装有Z轴运动模组，Z轴运动模组与Z轴移动平台滑动连接。Z轴移动平台安装有探针组件、形貌探测组件以及激光扫描组件。本技术的有益效果在于：具有快速、大面积、高精度测量的优点。使用本形貌复合式量测仪即可替代完成影像仪、三坐标检测器线激光轮廓仪、三种设备的测量工作，降低了检测仪器的装配成本和人工成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体检测设备领域，具体涉及一种形貌复合式量测仪。

技术介绍

1、形貌量测仪是半导体行业中用于测量和分析半导体材料表面特性的关键设备。它能够精准地评估表面的粗糙度、纹理、翘曲度以及污染缺陷等关键参数，从而保障半导体器件在制造过程中的质量与性能稳定性。这类仪器在确保半导体器件可靠性的方面起着十分重要的作用。

2、其中，以激光检测为检测手段的形貌量测仪得益于其高分辨率、快速无接触测量的优越性能，广泛应用于晶圆表面形貌、粗糙度和台阶高度的检测场景中。然而，该类检测设备在检测如晶圆、sic涂层石墨基座等半导体元件时仍存在不足。如公开号为cn107607056b，名称为激光形貌检测器的中国专利技术专利，包括激光器、个成像镜头、光斑探测器、摆动回转轴、摆动驱动器、摆角检测器、信号处理器、扫描反光镜；虽然采用摆动扫描方法实现了对物体轮廓的检测。将处理信息的方法简化改良为对点位置的判断以快速得出结果，实时性强、可靠性高。但这类线激光检测设备在测量孔洞、槽等区域时，会出现激光反射光路被遮挡的现象，从而导致测量精度偏差大，甚至是部分区域无法测量的情况。同本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种形貌复合式量测仪，其特征在于，包括机架，所述机架上端安装有固定基座；所述固定基座上方安装有支撑组件；Y轴运动模组穿过所述支撑组件与所述固定基座之间的间隔部并布设在所述固定基座上；所述Y轴运动模组与Y轴移动平台滑动连接；所述支撑组件横向布置有X轴运动模组；所述X轴运动模组与X轴移动平台滑动连接；所述X轴移动平台安装有Z轴运动模组，所述Z轴运动模组与Z轴移动平台滑动连接；所述Z轴移动平台安装有探针组件、形貌探测组件以及激光扫描组件。

2.根据权利要求1所述的一种形貌复合式量测仪，其特征在于：所述支撑组件包括有对称分布在所述固定基座两侧的支撑支架一和支撑支架二，所述支撑支架...

【技术特征摘要】

1.一种形貌复合式量测仪，其特征在于，包括机架，所述机架上端安装有固定基座；所述固定基座上方安装有支撑组件；y轴运动模组穿过所述支撑组件与所述固定基座之间的间隔部并布设在所述固定基座上；所述y轴运动模组与y轴移动平台滑动连接；所述支撑组件横向布置有x轴运动模组；所述x轴运动模组与x轴移动平台滑动连接；所述x轴移动平台安装有z轴运动模组，所述z轴运动模组与z轴移动平台滑动连接；所述z轴移动平台安装有探针组件、形貌探测组件以及激光扫描组件。

2.根据权利要求1所述的一种形貌复合式量测仪，其特征在于：所述支撑组件包括有对称分布在所述固定基座两侧的支撑支架一和支撑支架二，所述支撑支架一和所述支撑支架二的上端连接有同一横梁。

3.根据权利要求1所述的一种形貌复合式量测仪，其特征在于：所述y轴运动模组的第一导轨组件沿y轴方向穿过所述间隔部并安装在所述固定基座上；所述第一导轨组件上设置有与所述y轴移动平台固定连接的连接滑块。

4.根据权利要求3所述的一种形貌复合式量测仪，其特征在于：所述第一导轨组件包括三条并列放置的y轴导轨和设置在y轴导轨上的随动护罩；所述y轴导轨的两端连接有挡板；所述随动护罩的一端与所述挡板连接，另一端与所述y轴移动平台通过连接件连接；所述固定基座安装有处于所述随动护罩下方的防撞组件。

5.根据权利要求2所述的一种形貌复合式量测仪，其特征在于：所述x轴运动模组的第二导轨组件横...

【专利技术属性】
技术研发人员：周作霖，曾昌，
申请(专利权)人：广东中科普瑞科技有限公司，
类型：新型
国别省市：