【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体，具体为一种氮化镓器件老化箱。
技术介绍
1、氮化镓器件老化箱是一种用于加速半导体器件老化测试的专用设备，主要针对第三代宽禁带半导体材料氮化镓的特性进行优化设计，该设备通过模拟高温、高湿、电应力等极端工况环境，对氮化镓功率器件、射频器件等进行加速寿命试验，以评估其长期可靠性和失效模式。
2、申请号为cn202110542715.x的专利申请公开了一种氮化镓器件老化箱，包括降温模块和设置在所述降温模块上的控制模块和升温模块，所述升温模块包括加热铝板和用于安装氮化镓器件的安装铝板，所述安装铝板设置在所述加热铝板上，所述加热铝板包括设置在所述安装铝板两侧的加热棒；所述降温模块包括散热筒和与所述散热筒相通的风道，所述散热筒的一端设置有第一风机，所述加热铝板固定在所述散热筒的上端。
3、综上所述，氮化镓器件老化测试中，由于老化箱内部存在温度梯度，部分器件可能长期处于超温状态，导致材料热应力加剧、参数漂移甚至结构损伤，而低温区域的器件则无法达到预设老化条件，造成寿命预测偏差和可靠性误判，进而会影响测试结果
【技术保护点】
1.一种氮化镓器件老化箱，包括支撑机构（1），所述支撑机构（1）包括箱体（101），所述箱体（101）的底部外壁固定连接有支撑脚（102），所述箱体（101）的内壁开设有凹槽（112），所述凹槽（112）的内部设置有检测机构（2），所述箱体（101）靠近凹槽（112）的一侧内壁固定连接有固定轴（113），所述箱体（101）靠近支撑脚（102）的一侧外壁固定连接有第一电机（103），所述第一电机（103）的输出端贯穿于箱体（101）并固定连接有转动轴（104），其特征在于，所述箱体（101）的内部设置有夹持机构（3）；
2.根据权利要求1所述的一种氮化镓器件...
【技术特征摘要】
1.一种氮化镓器件老化箱，包括支撑机构（1），所述支撑机构（1）包括箱体（101），所述箱体（101）的底部外壁固定连接有支撑脚（102），所述箱体（101）的内壁开设有凹槽（112），所述凹槽（112）的内部设置有检测机构（2），所述箱体（101）靠近凹槽（112）的一侧内壁固定连接有固定轴（113），所述箱体（101）靠近支撑脚（102）的一侧外壁固定连接有第一电机（103），所述第一电机（103）的输出端贯穿于箱体（101）并固定连接有转动轴（104），其特征在于，所述箱体（101）的内部设置有夹持机构（3）；
2.根据权利要求1所述的一种氮化镓器件老化箱，其特征在于：所述辅助组件（306）包括与转动架（305）内壁转动连接的翻转杆（3061），所述翻转杆（3061）远离转动架（305）的一端外壁通过转轴转动连接有夹持板（3062），所述夹持板（3062）靠近翻转杆（3061）的一侧外壁固定连接有第二弹簧（3063），所述第二弹簧（3063）远离夹持板（3062）的一端与翻转杆（3061）固定连接，第二弹簧（3063）用于辅助夹持板（3062）完成角度调整。
3.根据权利要求2所述的一种氮化镓器件老化箱，其特征在于：所述翻转杆（3061）远离夹持板（3062）的一侧内壁通过转轴转动连接有第二转动杆（3064），所述第二转动杆（3064）远离翻转杆（3061）的一端外壁通过转轴转动连接有受力杆（3065），所述受力杆（3065）远离第二转动杆（3064）的一侧外壁固定连接有连接轴（3066），所述连接轴（3066）远离受力杆（3065）的一端贯穿于转动架（305）并固定连接有第三弹簧（3067），所述第三弹簧（3067）靠近受力杆（3065）的一端与转动架（305）固定连接，第三弹簧（3067）用于辅助受力杆（3065）完成复位。
4.根据权利要求1所述的一种氮化镓器件老化箱，其特征在于：所述检测机构（2）包括与凹槽（112）内壁固定连接的第一连接架（201），所述第一连接架（201）的内壁固定连接有第一伸缩杆（202），所述第一伸缩杆（202）的输出端固定连接有第一连接块（203），所述第一连接块（203）远...
【专利技术属性】
技术研发人员：苏德志，詹兴龙，王爱国，赵晓晨，林涛，
申请(专利权)人：山东华宇航天空间技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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