一种快速切换焦距的检测装置制造方法及图纸

技术编号:46064587 阅读:12 留言:0更新日期:2025-08-11 15:51
本发明专利技术涉及一种快速切换焦距的检测装置,包括:发光单元,持续出射不同颜色的初始光束;其中,不同颜色的初始光束的出射点不相同;旋转单元,旋转发光单元以改变发光单元透过旋转单元所形成的选择光束的颜色;聚焦单元,对选择光束进行聚焦得到聚焦光束,以使聚焦光束照射在被测物表面形成信息光束;相机,接收信息光束并检测得到被测物表面图像。采用本发明专利技术所述的快速切换焦距的检测装置可以在低成本的情况下实现快速切换检测光源,并保持良好的检测精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学成像检测领域,特别是涉及一种快速切换焦距的检测装置


技术介绍

1、随着社会发展工业化越来越普遍,在镜头领域对于监控、安防、航拍、无人机、光刻、半导体、晶圆等测试普遍在工业发展和日常生活中应用,而对于半导体、晶圆的测试精度和效率要求也越来越高。为此,当检测不同物体时,需要快速切换检测装置对应的聚焦焦距以达到足够的检测精度。

2、现有的检测装置通过改变检测装置中聚焦透镜的焦点位置来改变聚焦焦距,其中包括令聚焦透镜或整个检测装置产生机械位移、采用液晶材质的聚焦透镜等方式,然而这些检测装置要么牺牲精度换取检测成本,要么牺牲成本换取检测精度,实际检测效果并不理想。


技术实现思路

1、基于此,本专利技术的目的在于,提供一种快速切换焦距的检测装置,可以在低成本的情况下实现快速切换检测光源,并保持良好的检测精度。

2、一种快速切换焦距的检测装置,包括:

3、发光单元,持续出射不同颜色的初始光束;其中,不同颜色的初始光束的出射点不相同;

4、旋转单元,旋转发光本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种快速切换焦距的检测装置,其特征在于:包括:

2.根据权利要求1所述的快速切换焦距的检测装置,其特征在于:所述旋转单元包括共圆心的外盘和内盘;所述外盘是可旋转的,所述发光单元设置在外盘上,跟随外盘进行旋转,初始光束在内盘上的照射点形成一个圆形旋转路径;所述内盘上设有一通孔,圆形旋转路径经过内盘的通孔,当初始光束照射点与通孔重合时旋转单元出射该初始光束形成选择光束。

3.根据权利要求2所述的快速切换焦距的检测装置,其特征在于:所述旋转单元包括至少一个手柄;通过手柄旋转外盘以旋转发光单元,从而改变与通孔重合的初始光束以改变选择光束的颜色。p>

4.根据权...

【技术特征摘要】

1.一种快速切换焦距的检测装置,其特征在于:包括:

2.根据权利要求1所述的快速切换焦距的检测装置,其特征在于:所述旋转单元包括共圆心的外盘和内盘;所述外盘是可旋转的,所述发光单元设置在外盘上,跟随外盘进行旋转,初始光束在内盘上的照射点形成一个圆形旋转路径;所述内盘上设有一通孔,圆形旋转路径经过内盘的通孔,当初始光束照射点与通孔重合时旋转单元出射该初始光束形成选择光束。

3.根据权利要求2所述的快速切换焦距的检测装置,其特征在于:所述旋转单元包括至少一个手柄;通过手柄旋转外盘以旋转发光单元,从而改变与通孔重合的初始光束以改变选择光束的颜色。

4.根据权利要求3所述的快速切换焦距的检测装置,其特征在于:所述聚焦单元对不同颜色的选择光束进行聚焦,得到不同出射方向的聚焦光束,以使各聚焦光束聚焦在不同位置。

5.根据权利要求4所述的快速切换焦距的检测装置,其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴沛林张俏锋刘智城钟土俊薛文正
申请(专利权)人:广州长步道光学科技有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1