【技术实现步骤摘要】
本申请涉及税控车床的领域，尤其是涉及一种半导体设备腔座焊接件数控车床及其加工工艺。
技术介绍
1、数控车床在现代工业生产中扮演着重要角色，尤其是在半导体设备制造领域。随着半导体技术的飞速发展，对设备加工精度和效率的要求不断提高，数控车床作为关键加工设备，其性能直接影响产品的质量和生产效率。为了满足高精度加工需求，数控车床需要具备高效的润滑系统，以确保加工过程的稳定性和可靠性，同时减少刀具磨损和提高工件表面质量。
2、在现有技术中，为解决数控车床加工过程中的润滑问题，通常采用以下几种手段：一是通过手动或简单机械装置向加工区域喷洒润滑油，二是设置集油槽收集加工过程中产生的废油，
3、然而，当掺杂有杂质的润滑油进入集油槽收集后，该部分废油难以进行杂质的分离，使得回收后的润滑油无法实现再次利用，造成资源浪费，故有待改善。
技术实现思路
1、为了改善回收后的润滑油难以进行杂质的分离，导致无法实现润滑油的再次利用，造成资源浪费的问题，本申请提供一种半导体设备腔座焊接件数控车床及
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1.一种半导体设备腔座焊接件数控车床，其特征在于，包括机架(10)和护罩(20)，所述护罩(20)设于所述机架(10)上，所述护罩(20)内形成反应室(11)，所述反应室(11)内设有卡盘(13)和喷油组件(14)，所述卡盘(13)转动连接在所述机架(10)上，所述喷油组件(14)设于所述机架(10)上，并位于所述卡盘(13)的上方，所述喷油组件(14)用于向卡盘(13)喷洒润滑油，所述反应室(11)内设有加工部(12)，所述加工部(12)设于所述机架(10)上，并与所述卡盘(13)相对设置，所述机架(10)上设有顶部开口的收集箱(30)，所述收集箱(30)位于卡盘(...
【技术特征摘要】
1.一种半导体设备腔座焊接件数控车床，其特征在于，包括机架(10)和护罩(20)，所述护罩(20)设于所述机架(10)上，所述护罩(20)内形成反应室(11)，所述反应室(11)内设有卡盘(13)和喷油组件(14)，所述卡盘(13)转动连接在所述机架(10)上，所述喷油组件(14)设于所述机架(10)上，并位于所述卡盘(13)的上方，所述喷油组件(14)用于向卡盘(13)喷洒润滑油，所述反应室(11)内设有加工部(12)，所述加工部(12)设于所述机架(10)上，并与所述卡盘(13)相对设置，所述机架(10)上设有顶部开口的收集箱(30)，所述收集箱(30)位于卡盘(13)的正下方，所述收集箱(30)上设有分离组件(40)，所述分离组件(40)用于将润滑油中的杂质分离出来。
2.根据权利要求1所述的半导体设备腔座焊接件数控车床，其特征在于，所述喷油组件(14)包括油箱(141)和喷油嘴(142)，所述油箱(141)设于所述机架(10)上，所述油箱(141)与喷油嘴(142)相连通，所述喷油嘴(142)的输出端朝向卡盘(13)，所述收集箱(30)的底部通过连接管(31)与油箱(141)连通。
3.根据权利要求1所述的半导体设备腔座焊接件数控车床，其特征在于，所述分离组件(40)包括一级过滤板(41)和二级过滤板(42)，所述一级过滤板(41)和二级过滤板(42)均水平设置，且所述一级过滤板(41)和二级过滤板(42)的周侧均与收集箱(30)的内壁贴合，所述二级过滤板(42)位于一级过滤板(41)的下方。
4.根据权利要求3所述的半导体设备腔座焊接件数控车床，其特征在于，所述一级过滤板(41)通过连接组件(50)与收集箱(30)可拆卸连接，所述连接组件(50)包括连接环(51)和若干连接杆(52)，所述连接杆(52)竖直设置，且所述连接杆(52)的底端固定在所述一级过滤板(41)上，所述连接杆(52)的顶端与连接环(51)固定，所述连接环(51)搭接在收集箱(30)的顶部开口处。
5.根据权利要求3所述的半导体设备腔座焊接件数控车床，其特征在于，所述机架(10)上设有清理箱(60)，所述清理箱(60)与收集箱(30)抵贴，且所述清理箱(60)与收集箱(30)相连通，所述收集箱(30)上设有推块(90)，所述推块(90)能够在二级过滤板(42)上移动，所述收集箱(30)上设有抵推气缸(91...
【专利技术属性】
技术研发人员：顾伟东，秦春，
申请(专利权)人：无锡格瑞斯精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：
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