一种含掺杂元素的碲化锌靶材及其制备方法技术

本申请涉及靶材制备技术领域，公开了一种含掺杂元素的碲化锌靶材，包括以下重量份数的组份：锌源：10‑15份；碲源：7‑10份；铟源：1.5‑3.0份；硫源：0.2‑2.5份；硼氮共掺杂碳纳米管：1.2‑1.8份；聚多巴胺：0.5‑1.0份；还提供了一种含掺杂元素的碲化锌靶材的制备方法，包括以下步骤：S1、配制前驱体溶液；S2、进行微波辅助反应以合成碲化锌靶材的前体；S3、对反应产物进行分离、洗涤及干燥处理；S4、压制成型并进行热等静压处理，获得靶材。本发明专利技术通过引入BN‑CNTs与PDA的协同构建机制，实现了结构的高度致密化和界面均匀化处理，最终获得了高机械强度和低电阻率的碲化锌靶材。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及靶材制备，具体为一种含掺杂元素的碲化锌靶材及其制备方法。

技术介绍

1、随着柔性电子、低温溅射工艺和新型透明导电薄膜的发展，对高性能金属氧化物和金属化合物靶材的要求不断提高，碲化锌(znte)因其优异的光电特性和半导体性能，已被广泛用于薄膜太阳能电池、红外探测器、传感器等领域，为进一步提升靶材的导电性、致密性以及膜层稳定性，行业开始转向多元素掺杂、结构优化与界面工程等复合调控策略。

2、目前已有部分研究通过引入铟、硫等异质掺杂元素来调节znte的电学特性，配合简单的微波合成技术，实现了初步的低温制备与晶粒控制，此外，也有技术尝试加入纳米碳材料提升靶材的导电性与部分机械性能，在实验条件下获得了较好的成膜均匀性与导电路径拓展，部分方法还采用溶液法结合传统冷压工艺，在成本与工艺兼容性方面具备一定优势，适合小批量定向开发，具有一定实用价值。

3、但这些方法在结构控制和掺杂分布上仍存在明显短板，多数工艺中掺杂元素的富集行为缺乏引导机制，容易出现局部偏聚；特别是硫元素，由于挥发性强，常在热处理阶段发生迁移，导致内部掺杂不足；还有些本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种含掺杂元素的碲化锌靶材，其特征在于，包括以下重量份数的组份：

2.根据权利要求1所述的一种含掺杂元素的碲化锌靶材，其特征在于，所述锌源为乙酸锌，所述碲源为亚碲酸钠，所述铟源为氯化铟，所述硫源为硫脲。

3.根据权利要求1所述的一种含掺杂元素的碲化锌靶材，其特征在于，所述靶材的表面层含铟元素的富集区，铟的浓度为2-4倍于靶材内部；所述靶材的内部为硫元素掺杂梯度区，硫的浓度由表面向内逐渐递减，且硫元素浓度不低于0.2％。

4.根据权利要求1所述的一种含掺杂元素的碲化锌靶材，其特征在于，所述靶材具有95％以上的致密度，且其晶体结构稳定，表面无明显裂纹和...

【技术特征摘要】

1.一种含掺杂元素的碲化锌靶材，其特征在于，包括以下重量份数的组份：

2.根据权利要求1所述的一种含掺杂元素的碲化锌靶材，其特征在于，所述锌源为乙酸锌，所述碲源为亚碲酸钠，所述铟源为氯化铟，所述硫源为硫脲。

3.根据权利要求1所述的一种含掺杂元素的碲化锌靶材，其特征在于，所述靶材的表面层含铟元素的富集区，铟的浓度为2-4倍于靶材内部；所述靶材的内部为硫元素掺杂梯度区，硫的浓度由表面向内逐渐递减，且硫元素浓度不低于0.2％。

4.根据权利要求1所述的一种含掺杂元素的碲化锌靶材，其特征在于，所述靶材具有95％以上的致密度，且其晶体结构稳定，表面无明显裂纹和孔隙。

5.一种含掺杂元素的碲化锌靶材的制备方法，应用于权利要求1-4任一项所述的一种含掺杂元素的碲化锌靶材，其特征在于，包括以下步骤：

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【专利技术属性】
技术研发人员：卢鹏荐，曾小龙，范晨光，曾祥，李鹏武，袁珊珊，
申请(专利权)人：武汉拓材科技有限公司，
类型：发明
国别省市：