【技术实现步骤摘要】
本申请涉及镀膜，特别是涉及电极组件和沉积设备。
技术介绍
1、沉积设备能够通过电离工艺气体，从而将位于载板上的基片进行镀膜。随着沉积工艺的不断发展，对沉积设备产能的要求也越来越高，沉积设备的尺寸也越来越大。相关技术中，沉积设备中的电极组件在尺寸较大的情况下，随着使用时间的增加，会产生变形等问题，导致电极组件的接触不良，影响镀膜质量。
技术实现思路
1、本申请的实施例提供电极组件和沉积设备，能够提高载板与加热板电导通的可靠性。
2、第一方面，本申请实施例提供电极组件。电极组件包括加热板、载板和连接片。载板设置于加热板上。多个连接片位于载板和加热板之间，连接片的一端固定连接于加热板，连接片的另一端与载板抵接，连接片将载板和加热板电导通。
3、可选地，多个连接片的弹力之和小于或等于载板的重力。
4、可选地，载板包括承载部和支撑部，支撑部设置于承载部的外周，且位于承载部靠近加热板的一侧，连接片与承载部抵接，支撑部用于与加热板抵接。
5、可选地，连接片...
【技术保护点】
1.一种电极组件，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的电极组件，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的电极组件，其特征在于：
4.根据权利要求1所述的电极组件，其特征在于：
5.根据权利要求1所述的电极组件，其特征在于：
6.根据权利要求1所述的电极组件，其特征在于：
7.根据权利要求1所述的电极组件，其特征在于：
8.根据权利要求7所述的电极组件，其特征在于：
9.根据权利要求7所述的电极组件，其特征在于：
10.一种沉积设备，其特征在于，包括：
【技术特征摘要】
1.一种电极组件，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的电极组件，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的电极组件，其特征在于：
4.根据权利要求1所述的电极组件，其特征在于：
5.根据权利要求1所述的电极组件，其特征在于：
...【专利技术属性】
技术研发人员：宋广华，许伟伟，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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