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本申请公开了电极组件和沉积设备。电极组件包括加热板、载板和连接片。载板设置于加热板上。多个连接片位于载板和加热板之间，连接片的一端固定连接于加热板，连接片的另一端与载板抵接，连接片将载板和加热板电导通。通过上述方式，本申请能够提高载板与加热...
该专利属于江苏微导纳米科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏微导纳米科技股份有限公司授权不得商用。

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