基于碳化硅和掺铒铌酸锂的混合集成光梳放大器及制备方法技术

本发明专利技术公开了一种基于碳化硅和掺铒铌酸锂的混合集成光梳放大器及制备方法，其制备包括：分别制备碳化硅微环光频梳和掺铒铌酸锂波导放大器，并设计两器件端口，将碳化硅微环光频梳与掺铒铌酸锂波导放大器通过端面耦合集成，进而得到混合集成的光梳放大器。本发明专利技术的混合集成光梳放大器具有小型化、易于集成、光频梳部分与放大器部分空间形状可任意设计、尺寸可调、自由度高的特点，不仅可以提高应用场景光学系统的性能，还能降低系统的复杂性和成本。在光学通信、激光雷达、光钟、精密光谱探测和量子计算等高科技领域具有很大应用前景。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属芯片集成，具体涉及一种基于碳化硅（sic）和掺铒铌酸锂（linbo3）的混合集成光梳放大器及其制备方法，本专利技术适用于各种薄膜材料的异质集成。

技术介绍

1、传统的光学频率梳（ofc）通常基于锁模激光器，虽然其性能稳定，但由于体积庞大、系统复杂和成本高昂，限制了其在实验室以外的应用。近年来，基于光学微谐振腔的克尔微梳（kerr microcombs）因其小型化、易集成、低功耗、宽带宽和高重复率等优点迅速成为研究热点。4h-sic因其高非线性系数、低损耗（0.1 db/cm）、高热导率（490 w/(m·k））和高损伤阈值（80 gw/cm²），成为生成长期稳定宽带微梳的理想材料。然而，微梳输出功率较低，限制了其实际应用。为了提高微梳的输出功率，通常需要使用铒掺杂光纤放大器（edfa），但这增加了系统的复杂性和成本。因此，开发一种高效的微梳放大器对于实现微梳的实际应用至关重要。

2、单晶铌酸锂 (ln) 具有较宽的透明窗口和较高的折射率以及较大的声光、非线性和电光系数，是一种极具吸引力的光子材料。将大块ln晶体转变成薄膜铌酸锂(tf本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于碳化硅和掺铒铌酸锂的混合集成光梳放大器制备方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：

2.一种权利要求1所述方法制得的基于碳化硅和掺铒铌酸锂的混合集成光梳放大器。

【技术特征摘要】

1.一种基于碳化硅和掺铒铌酸锂的混合集成光梳放大器制备方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：...

【专利技术属性】
技术研发人员：程亚，方致伟，周媛，胡祺悦，
申请(专利权)人：华东师范大学，
类型：发明
国别省市：