一种超精密气体静压主轴动平衡平台制造技术

本发明专利技术涉及超精密气体静压主轴动平衡平台，用于测量超精密气体静压主轴的振动数据，包括预载荷气浮平台、载物台、以及用于测量振动数据的传感器；所述预载荷气浮平台包括气浮基座、气浮块和负压块，所述气浮块用于在所述气浮块和载物台之间产生气膜；所述负压块用于产生与所述气浮块的气浮力方向相反的吸力；所述载物台设有沿X方向位于两侧的第一支撑体和第二支撑体，所述载物台与所述第一支撑体和第二支撑体之间分别设有的第一弹簧和第二弹簧，所述第一弹簧和第二弹簧的两端设有分别设有第一万向节和第二万向节；所述传感器的布置方向垂直于所述第一弹簧和第二弹簧的延伸方向。该平台可有效降低振动信号的衰减，提高动平衡测量精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及振动测试装置术领域，具体涉及用于对超精密气体静压主轴的微小动平衡量进行测量的平台装置。

技术介绍

1、超精密气体静压主轴要求极高的回转精度，其动平衡精度对于最终主轴性能参数有着重要影响。普通的支持方式限制了微小振动的传播，不利于不平衡量导致的振动数据的采集。

2、然而，传统动平衡支撑方式，由于径向仍然存在很大的刚性，测量时会混入支架本身的谐波数据，对于主轴自身动平衡信号会产生不可预见的影响。

3、对此，cn 114646377 b公开了一种振动力量测量装置，其包含测量平台、抬升装置、传感器、振动传输件、以及弹性支撑件。测量平台具有承载面以承载待测物。抬升装置配置成将测量平台抬离抬升装置的上表面。传感器配置成感测待测物运转时所产生的振动量。振动传输件具有相对的第一端与第二端。第一端与传感器接合，第二端配置成接收振动量。弹性支撑件连接测量平台与支撑结构，其中振动传输件与弹性支撑件分别位于测量平台的相对二侧。通过在待测物的相对二侧分别设置传感器与振动传输件、以及弹性支撑件，可即时感测待测物运转时的振动力量，并可将振动力量数据本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.超精密气体静压主轴动平衡平台，用于测量超精密气体静压主轴的振动数据，其特征在于，包括预载荷气浮平台、载物台、以及用于测量振动数据的传感器；所述预载荷气浮平台包括气浮基座、气浮块和负压块，所述气浮块连接供气管路，用于在所述气浮块和载物台之间产生气膜，以使所述载物台能够处于浮起状态；所述负压块连接负压管路，用于产生与所述气浮块的气浮力方向相反的吸力，以对所述载物台添加预负载；所述气浮基座设有沿X方向位于两侧的第一支撑体和第二支撑体，所述载物台与所述第一支撑体之间设有的第一弹簧，所述载物台与所述第二支撑体之间设有第二弹簧，所述第一弹簧的两端设有分别设有第一万向节，所述第二弹簧的两端分别设有...

【技术特征摘要】

1.超精密气体静压主轴动平衡平台，用于测量超精密气体静压主轴的振动数据，其特征在于，包括预载荷气浮平台、载物台、以及用于测量振动数据的传感器；所述预载荷气浮平台包括气浮基座、气浮块和负压块，所述气浮块连接供气管路，用于在所述气浮块和载物台之间产生气膜，以使所述载物台能够处于浮起状态；所述负压块连接负压管路，用于产生与所述气浮块的气浮力方向相反的吸力，以对所述载物台添加预负载；所述气浮基座设有沿x方向位于两侧的第一支撑体和第二支撑体，所述载物台与所述第一支撑体之间设有的第一弹簧，所述载物台与所述第二支撑体之间设有第二弹簧，所述第一弹簧的两端设有分别设有第一万向节，所述第二弹簧的两端分别设有第二万向节；所述传感器沿y方向布置于所述载物台的同一侧两边，其布置方向垂直于所述第一弹簧和第二弹簧的延伸方向。

2.根据权利要求1所述的超精密气体静压主轴动平衡平台，其特征在于，所述载物台位于所述预载荷气浮平台之上，其平行于所述气浮基座设置且面积小于所述气浮基座，所述气浮基座设有用于防止所述载物台脱离的限位机构。

3.根据权利要求2所述的超精密气体静压主轴动平衡平台，其特征在于，所述限位机构包括对应于所述载物台四个直角部位所设置的四组限位柱，每组所述限位柱均包括对应于所述载物台一个直角部位...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖北川，吴东旭，索奇，王辉，王玉伟，
申请(专利权)人：通用技术集团机床工程研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：