下载一种超精密气体静压主轴动平衡平台的技术资料

文档序号:46054345

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本发明涉及超精密气体静压主轴动平衡平台,用于测量超精密气体静压主轴的振动数据,包括预载荷气浮平台、载物台、以及用于测量振动数据的传感器;所述预载荷气浮平台包括气浮基座、气浮块和负压块,所述气浮块用于在所述气浮块和载物台之间产生气膜;所述负压...
该专利属于通用技术集团机床工程研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过通用技术集团机床工程研究院有限公司授权不得商用。

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