在线X射线荧光分析模组及在线X射线荧光分析装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及光学分析检测设备技术领域，提供一种在线X射线荧光分析模组及在线X射线荧光分析装置，在线X射线荧光分析模组包括：一液体暂存部、一光学穿透层及一固定部，该液体暂存部用于容纳一待测液体，该液体暂存部包括一第一分析孔，该光学穿透层覆盖在该第一分析孔上，该固定部设置在该光学穿透层上，该固定部包括一第二分析孔，该第二分析孔与该第一分析孔沿轴线对齐，以固定该光学穿透层。本发明专利技术可以装设在生产线上进行智慧化升级，实时或定期自动检测生产线上化学药剂的光学性质，有效增加生产效率及合格率，并且降低人力及时间等生产成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学分析检测设备，尤其涉及一种在线x射线荧光分析模组及在线x射线荧光分析装置。

技术介绍

1、当制造半导体晶圆时，为了形成微米或纳米等级的精密结构，需要使用各种不同的化学药剂来进行清洗、黄光、电镀及刻蚀等化学工艺过程，以满足高精度及高效度的需求。随着使用时间越久，这些化学药剂经过多次的反应，其内累积的影响反应效率及精度的副产物或杂质等越多，若未能及时更换新的化学药剂，将导致晶圆的不合格率增加，甚至残留在晶圆上造成污染，对产品及制造成本带来不利的影响。

2、然而，目前针对工艺过程中所使用的化学药剂的分析，需要仰赖大量人力在各个生产机台中逐一抽取待测样品，然后运送至实验室的分析仪器进行检测，由于分析仪器每次分析及人为操作仪器的数量有限，且每次分析需耗费一定时间，因此，往往需要排队等待检测，导致检测耗时、人力耗费及检测结果缺乏实时性等问题，无法及时更换新的化学药剂，进而造成材料及成本的不必要的浪费。

技术实现思路

1、为解决上述问题，本专利技术提供一种在线x射线荧光分析模组及在线x射线荧光本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种在线X射线荧光分析模组，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的在线X射线荧光分析模组，其特征在于，还包括分析层，所述分析层设置在所述第一分析孔与所述光学穿透层之间，所述分析层包括第三分析孔。

3.根据权利要求1所述的在线X射线荧光分析模组，其特征在于，所述液体暂存部内限定液体填充腔。

4.根据权利要求3所述的在线X射线荧光分析模组，其特征在于，所述液体暂存部包括：液体入口及液体出口，所述液体出口限定在所述液体暂存部的第一表面，所述液体入口限定在所述液体暂存部的第二表面。

5.根据权利要求4所述的在线X射线荧光分析模组，其特征在...

【技术特征摘要】

1.一种在线x射线荧光分析模组，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的在线x射线荧光分析模组，其特征在于，还包括分析层，所述分析层设置在所述第一分析孔与所述光学穿透层之间，所述分析层包括第三分析孔。

3.根据权利要求1所述的在线x射线荧光分析模组，其特征在于，所述液体暂存部内限定液体填充腔。

4.根据权利要求3所述的在线x射线荧光分析模组，其特征在于，所述液体暂存部包括：液体入口及液体出口，所述液体出口限定在所述液体暂存部的第一表面，所述液体入口限定在所述液体暂存部的第二表面。

5.根据权利要求4所述的在线x射线荧光分析模组，其特征在于，所述第一分析孔设置在所述液体暂存部的所述第一表面上。

6.根据权利要求1所述的在线x射线荧光分析模组，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张振伟，
申请(专利权)人：汉民科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：