具有气压式循环功能的预浸润系统技术方案

本发明专利技术是具有气压式循环功能的预浸润系统。在一些实施例中，一种用于预浸润过滤器的系统包含过滤器、管线系统、第一气体、第二气体、第一缓冲槽，以及第二缓冲槽。第一气体驱动溶剂以清洗过滤器，该两个缓冲槽可储存过滤器排出的溶剂。第二气体选择性驱动第一缓冲槽内的溶剂使其回流至过滤器后再输入至第二缓冲槽内，或者，驱动第二缓冲槽内的溶剂使其回流至过滤器后再输入至第一缓冲槽内。至过滤器后再输入至第一缓冲槽内。至过滤器后再输入至第一缓冲槽内。

【技术实现步骤摘要】
具有气压式循环功能的预浸润系统


[0001]本专利技术是关于一种半导体制程液体过滤器的预浸润系统。

技术介绍

[0002]光阻过滤器预浸润机台(Resist Filter Pre
‑
Wet Station)是一种用于预浸润与清洗光阻过滤器的系统，其将单一个或多个不同规格未使用过的光阻过滤器，在使用前通过有机溶剂的冲刷或循环对过滤罐加以清洗与浸润，以有效去除过滤器内的杂质与颗粒，从而提升光阻过滤器正式上线时的洁净度与使用效率。
[0003]一个光阻过滤器在使用之前，如果预浸润不彻底，在其内部将存在有未被浸润的部分，而此局部未被浸润的部分将无法被清洗，而且需要花费更长的时间，才能将该部分的杂质或微粒(particle)带出。如此该过滤器的使用效率大幅降低，并进一步影响上线使用后的管路洁净度。
[0004]反之，如果过滤器在上线使用前，即已预先被完整的浸润与清洗，则过滤器内的杂质可以事先被清洗，也可以有效缩短过滤器到达合适上线状态的时间，使其具有最佳使用效率与洁净度。
[0005]中国台湾专利TW311097B揭露一种循环式预湿系统，其主要元件包含第一容器、泵、过滤器、第二容器、第二过滤器等。第一容器内装有用于预湿过滤器的溶剂。泵将第一容器内的溶剂输送至过滤器，其用以过滤溶剂中的杂质。要被预湿的第二过滤器设置在第二容器内，被过滤后的溶剂再被输送至第二容器内并预湿第二过滤器，之后再回流至第一容器内。
[0006]中国台湾专利TWI384330B揭露一种光阻过滤器的预湿系统，其包括储存有光阻溶剂的储存槽以及一个或多个泵连接该储存槽。每个泵将储存槽内的溶剂输送至一个或多个光阻过滤器。另外，在每个泵与每个光阻过滤器之间的管路上具有一个控制阀，以及控制装置连接各泵以及各控制阀。
[0007]中国台湾专利TWI612999B揭露一种光阻过滤器，该过滤器包含矩形皱褶的滤芯、入口端口、出口端口，以及通风端口。
[0008]中国台湾专利TWI642474B揭露一种可用于过滤光阻液的多孔隙聚四氟乙烯(PTFE)膜，以滤除溶液中的金属。

技术实现思路

[0009]本专利技术是关于一种半导体制程液体过滤器的预浸润系统。
[0010]在一些实施例中，一种预浸润系统包含管线系统、储存槽、过滤器、第一缓冲槽、第二缓冲槽、第一气体、第二气体、控制系统。储存槽存有溶剂。过滤器连接该管线系统。第一气体用于将该储存槽内的该溶剂经由该管线系统输送至该过滤器。该第一缓冲槽通过该管线系统连接该过滤器，以储存经由该过滤器排出的该溶剂。该第二缓冲槽通过该管线系统连接该过滤器，以储存经由该过滤器排出的该溶剂。第二气体驱动该第一缓冲槽内的该溶
剂经由该管线系统回流至该过滤器后再输送至该第二缓冲槽内，或者，驱动该第二缓冲槽内的该溶剂经由该管线系统回流至该过滤器后再输送至该第一缓冲槽内。该控制系统决定该溶剂的路径。
[0011]较佳地，该第一缓冲槽以及该第二缓冲槽各包含：溶剂入口，用以接收由该过滤器排出的该溶剂；气体口，用以排出气体或接收该第二气体；以及溶剂出口，用以排出该溶剂。
[0012]较佳地，在该过滤器以及该溶剂入口之间更包含控制阀以控制该溶剂是否进入该第一缓冲槽或该第二缓冲槽。
[0013]较佳地，在该第二气体以及该气体口之间更包含控制阀以控制该第二气体由该气体口排出或者进入。
[0014]较佳地，当该第二气体驱动该第一缓冲槽内的该溶剂经由该管线系统回流至该过滤器后再输送至该第二缓冲槽时，该第二气体由该第一缓冲槽的该气体口进入，而该第二缓冲槽内的该第二气体由该第二缓冲槽的该气体口排出。
[0015]较佳地，当该第二气体驱动该第二缓冲槽内的该溶剂经由该管线系统回流至该过滤器后再输送至该第一缓冲槽时，该第二气体由该第二缓冲槽的该气体口进入，而该第一缓冲槽内的该第二气体由该第一缓冲槽的该气体口排出。
[0016]较佳地，在该过滤器以及该溶剂出口之间更包含至少一个控制阀以控制该溶剂是否返回至该过滤器。
[0017]较佳地，该第一缓冲槽还包含：高位感测器，连接该控制系统；以及
[0018]低位感测器，连接该控制系统；其中，当该高位感测器侦测该第一缓冲槽内的该溶剂到达高位，则该第二泵输出气体以将该第一缓冲槽内的该溶剂排出再经由该管线系统回流至该过滤器后再输送至该第二缓冲槽内，当该低位感测器侦测该第一缓冲槽内的该溶剂到达低位，则该第二泵输出气体以将该第二缓冲槽内的该溶剂排出再经由该管线系统回流至该过滤器后再输送至该第一缓冲槽内。
[0019]较佳地，该第二缓冲槽还包含：高位感测器，连接该控制系统；以及低位感测器，连接该控制系统；其中，当该高位感测器侦测该第二缓冲槽内的该溶剂到达高位，则该第二泵输出气体以将该第二缓冲槽内的该溶剂排出再经由该管线系统回流至该过滤器后再输送至该第一缓冲槽内，当该低位感测器侦测该第二缓冲槽内的该溶剂到达低位，则该第二泵输出气体以将该第一缓冲槽内的该溶剂排出再经由该管线系统回流至该过滤器后再输送至该第二缓冲槽内。
[0020]较佳地，该第一缓冲槽以及该第二缓冲槽各包含：高高位感测器，连接该控制系统；以及低低位感测器，连接该控制系统；当该高高位感测器侦测该第一缓冲槽或该第二缓冲槽内的该溶剂到达一高高位，或当该低低位感测器侦测该第一缓冲槽或该第二缓冲槽内的该溶剂到达一低低位，则停止该预浸润系统。
[0021]较佳地，该管线系统包含清洗管线、第一循环回路，以及第二循环回路，该溶剂经由该清洗管线进入该过滤器后并由该清洗管线排出，该清洗管线与连接该第一缓冲槽的第一接收管线以及第一返回管线构成该第一循环回路，该清洗管线与连接该第二缓冲槽的第二接收管线以及第二返回管线构成该第二循环回路。
[0022]在一些实施例中，一种预浸润系统包含管线系统、储存槽、多个过滤器、第一缓冲槽、第二缓冲槽、第一气体、第二气体、控制系统。第一气体用于将该储存槽内的该溶剂经由
该管线系统输送至该过滤器。该第一缓冲槽通过该管线系统连接每个该过滤器，以储存经由每个该过滤器排出的该溶剂。该第二缓冲槽通过该管线系统连接每个该过滤器，以储存经由每个该过滤器排出的该溶剂。第二气体驱动该第一缓冲槽内的该溶剂经由该管线系统回流至每个该过滤器后再输送至该第二缓冲槽内，或者，驱动该第二缓冲槽内的该溶剂经由该管线系统回流至每个该过滤器后再输送至该第一缓冲槽内。该控制系统决定该溶剂的路径。
[0023]本专利技术提供的浸润系统是一种稳定、可靠、容易维护的系统，其可提升过滤器上线使用后的效率及洁净度，并能充分利用溶剂，以减少成本、提升良率，以及保护环境。
附图说明
[0024]图1A及图1B显示根据本专利技术一实施例一种预浸润系统的示意图。
[0025]图2显示根据本专利技术一个较佳实施例的预浸润系统。
[0026]图3显示根据图2预浸润系统中充填第一缓冲槽的操作。
[0027]图4显示根据图2预浸润系统中充填第二缓冲槽的操作本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有气压式循环功能的预浸润系统，其特征在于，包含：管线系统；储存槽，存有溶剂；过滤器，连接该管线系统；第一气体，用于将该储存槽内的该溶剂经由该管线系统输送至该过滤器；第一缓冲槽，通过该管线系统连接该过滤器，以储存经由该过滤器排出的该溶剂；第二缓冲槽，通过该管线系统连接该过滤器，以储存经由该过滤器排出的该溶剂；第二气体，驱动该第一缓冲槽内的该溶剂经由该管线系统回流至该过滤器后再输送至该第二缓冲槽内，或者，驱动该第二缓冲槽内的该溶剂经由该管线系统回流至该过滤器后再输送至该第一缓冲槽内；以及控制系统，决定该溶剂的路径。2.根据权利要求1所述的预浸润系统，其特征在于，该第一缓冲槽以及该第二缓冲槽各包含：溶剂入口，用以接收由该过滤器排出的该溶剂；气体口，用以排出气体或接收该第二气体；以及溶剂出口，用以排出该溶剂。3.根据权利要求2所述的预浸润系统，其特征在于，在该过滤器以及该溶剂入口之间更包含控制阀以控制该溶剂是否进入该第一缓冲槽或该第二缓冲槽。4.根据权利要求2所述的预浸润系统，其特征在于，在该第二气体以及该气体口之间更包含控制阀以控制该第二气体由该气体口排出或者进入。5.根据权利要求4所述的预浸润系统，其特征在于，当该第二气体驱动该第一缓冲槽内的该溶剂经由该管线系统回流至该过滤器后再输送至该第二缓冲槽时，该第二气体由该第一缓冲槽的该气体口进入，而该第二缓冲槽内的该第二气体由该第二缓冲槽的该气体口排出。6.根据权利要求4所述的预浸润系统，其特征在于，当该第二气体驱动该第二缓冲槽内的该溶剂经由该管线系统回流至该过滤器后再输送至该第一缓冲槽时，该第二气体由该第二缓冲槽的该气体口进入，而该第一缓冲槽内的该第二气体由该第一缓冲槽的该气体口排出。7.根据权利要求2所述的预浸润系统，其特征在于，在该过滤器以及该溶剂出口之间更包含至少一个控制阀以控制该溶剂是否返回至该过滤器。8.根据权利要求1所述的预浸润系统，其特征在于，该第一缓冲槽还包含：高位感测器，连接该控制系统；以及低位感测器，连接该控制系统；其中，当该高位感测器侦测该第一缓冲槽内的该溶剂到达高位，则该第二泵输出气体以将该第一缓冲槽内的该溶剂排出再经由该管线系统回流至该...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐瑞雄，林芷沂，黄尤良，黄继震，
申请(专利权)人：汉民科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：