一种微波等离子体化学气相高效沉积装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种微波等离子体化学气相高效沉积装置，包括主体，所述主体的上方设置有微波发生器，所述主体的内侧底部安装有转轴，所述转轴上固定有锥齿一。本发明专利技术通过设置可旋转倾斜的环形样品台，在沉积过程中，通过驱动机构带动转轴、立杆、十字形固定架以及环形样品台旋转，可以使环形样品台上的基底材料表面各个位置依次经过不同的气体浓度区域和等离子体环境，避免因局部环境不同而导致的沉积厚度不一致，且由于气体流动会对活性粒子的传输产生影响，可能导致某些区域的活性粒子供应不足或过多，通过旋转基底，可以打乱气流对活性粒子沉积的定向作用，使得活性粒子更均匀地沉积在基底上，提高薄膜的均匀性和一致性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及等离子体化学气相沉积相关，具体为一种微波等离子体化学气相高效沉积装置。

技术介绍

1、微波等离子体化学气相沉积系统是一种利用微波等离子体产生的高能电子和离子来激发反应物分子，使其在基板表面沉积形成薄膜的新型薄膜沉积技术，具有广泛的应用前景，它可以用于制备光电器件、纳米材料、电子元件等。此外，它还可以用于表面修饰、防腐蚀、涂层等领域。在新能源领域，微波等离子体化学气相沉积系统也可以被用来制备太阳能电池、燃料电池等。

2、在沉积过程中，由于反应气体在沉积室内的分布可能存在一定的不均匀性，等离子体的密度和活性在空间上也并非完全一致，这样就会导致在反应气体浓度高、等离子体密度大且活性强的区域，沉积速率较快，薄膜厚度较大，而在相反的区域，沉积速率慢，薄膜较薄，最终导致薄膜厚度不均匀，影响薄膜的性能和使用效果。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种微波等离子体化学气相高效沉积装置，以解决上述
技术介绍
中提出的由于反应气体在沉积室内的分布可能存在一定的不均匀性，等离子体的密度和活性在空间上本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种微波等离子体化学气相高效沉积装置，包括主体（1），其特征在于：

2.根据权利要求1所述的一种微波等离子体化学气相高效沉积装置，其特征在于：所述驱动机构（11）包括伺服电机（1101），所述伺服电机（1101）安装于主体（1）外侧，且伺服电机（1101）输出端与锥齿二（1102）相连接，所述锥齿二（1102）安装于主体（1）内侧，且锥齿二（1102）与锥齿一（7）相啮合。

3.根据权利要求1所述的一种微波等离子体化学气相高效沉积装置，其特征在于：所述十字形固定架（8）和环形样品台（9）均设置有多组，且其竖向等间距设置，所述弹簧（10）设置有多组，且其围绕着环...

【技术特征摘要】

1.一种微波等离子体化学气相高效沉积装置，包括主体（1），其特征在于：

2.根据权利要求1所述的一种微波等离子体化学气相高效沉积装置，其特征在于：所述驱动机构（11）包括伺服电机（1101），所述伺服电机（1101）安装于主体（1）外侧，且伺服电机（1101）输出端与锥齿二（1102）相连接，所述锥齿二（1102）安装于主体（1）内侧，且锥齿二（1102）与锥齿一（7）相啮合。

3.根据权利要求1所述的一种微波等离子体化学气相高效沉积装置，其特征在于：所述十字形固定架（8）和环形样品台（9）均设置有多组，且其竖向等间距设置，所述弹簧（10）设置有多组，且其围绕着环形样品台（9）中轴线等间距设置。

4.根据权利要求1所述的一种微波等离子体化学气相高效沉积装置，其特征在于：所述主体（1）内壁设置有多孔输气管（13），且多孔输气管（13）与气体输出设备（12）相连接。

5.根据权利要求1所述的一种微波等离子体化学气相高效沉积装置，其特征在于：所述主体（1）的内壁一端设置有滑条（14），且滑条（14）上开设有若干组凹槽（15），所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨竣焜，
申请(专利权)人：深圳市先行设备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：