【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于微波等离子设备，尤其涉及冷水台自适应调节机构、微波等离子体设备及其使用方法。
技术介绍
1、微波等离子体设备是利用微波能实现化学气相沉积的一种工艺装置，其原理是，微波在等离子体腔内与投入的气体之间形成共振，形成强的电磁场中心区域，使气体电离，形成等离子体，然后在沉积板表面上形成固态物质沉积，从而获取所需的沉积物，沉积物一般为非金属材料，例如金刚石。
2、其中对比文件cn201811252049.0公开了微波等离子体cvd装置及利用其合成金刚石的方法，其主要解决了以下问题：“现有微波等离子设备连续沉积时间较短，容易给沉积物结晶带来杂质，影响后续质量”，但是随着微波等离子体设备的广泛使用，又产生了以下新的问题：1.外水冷套与内水冷台的双冷却设置，其两者共同作用所带来的沉积板温度改变无法起到细致把控，并且在沉积物生长过程中需要沉积板温度进一步改变时，也无法起到相应的自适应细微调节，从而难以保证后续的沉积物质量；2.在长时间的生长环境下，沉积物厚度改变时，为了满足不同生长面的厚度，仅靠激励探头具体的适应角度具有一定限制...
【技术保护点】
1.冷水台自适应调节机构，包括冷水台（1），其特征在于：所述冷水台（1）呈上表面开口的圆柱形空腔，所述冷水台（1）底部设置有控制其高度的初级升降机构（2），所述冷水台（1）腔体内设置有实现垂直面升降的细微调节机构（3），所述细微调节机构（3）上方设置有用于角度调节的转向机构（4），所述转向机构（4）上方固定设置有夹持机构（5）。
2.根据权利要求1所述的冷水台自适应调节机构，其特征在于：所述冷水台（1）采用侧壁中空设置。
3.根据权利要求2所述的冷水台自适应调节机构，其特征在于：所述初级升降机构（2）包括初级升降基座（201），所述初级升降基座...
【技术特征摘要】
1.冷水台自适应调节机构，包括冷水台（1），其特征在于：所述冷水台（1）呈上表面开口的圆柱形空腔，所述冷水台（1）底部设置有控制其高度的初级升降机构（2），所述冷水台（1）腔体内设置有实现垂直面升降的细微调节机构（3），所述细微调节机构（3）上方设置有用于角度调节的转向机构（4），所述转向机构（4）上方固定设置有夹持机构（5）。
2.根据权利要求1所述的冷水台自适应调节机构，其特征在于：所述冷水台（1）采用侧壁中空设置。
3.根据权利要求2所述的冷水台自适应调节机构，其特征在于：所述初级升降机构（2）包括初级升降基座（201），所述初级升降基座（201）上方开设有呈三角状的安装槽（202），所述安装槽（202）角部均设置有安装基板（203），所述安装基板（203）上均转动设置有升降气缸（204），所述升降气缸（204）的伸缩杆上设置有第一转动件（205），所述第一转动件（205）上设置有与之配合的第二转动件（206），所述第二转动件（206）固定设置于所述冷水台（1）底部，所述初级升降基座（201）与所述冷水台（1）之间设置有两组随动筒组件（207），所述初级升降基座（201）侧壁上分别设置有进水管道（208）与出水管道（209），所述进水管道（208）与所述出水管道（209）分别与两组所述随动筒组件（207）相贯通，所述随动筒组件（207）与所述冷水台（1）侧壁相贯通。
4.根据权利要求3所述的冷水台自适应调节机构，其特征在于：所述随动筒组件（207）包括固定底筒（2071），所述固定底筒（2071）内套设有随动筒（2072），所述固定底筒（2071）与所述随动筒（2072）之间设置有密封圈（2073）。
5.根据权利要求4所述的冷水台自适应调节机构，其特征在于：所述细微调节机构（3）包括设置于所述腔体内部的驱动电机（301），所述驱动电机（301）的旋转轴上通过联轴器设置有传动丝杆（302），所述传动丝杆（302）端部设置有限位块（303），所述传动丝杆（302）上驱动设置有滚珠螺母底座（304），所述滚珠螺母底座（304）外固定套设有驱动板（305），所述驱动板（305）角部均设置有辅助轮（306），所述冷水台（1）腔体内壁垂直设置有与所述辅助轮（3...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨竣焜，
申请(专利权)人：深圳市先行设备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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