一种用于扫描电镜测试的样品台制造技术

本发明专利技术涉及一种用于扫描电镜测试的样品台，包括底座、支撑部、三个可移动的夹紧部和防撞定位组件，底座下表面中央设有支撑柱，支撑柱插入扫描电镜原配样品台的通孔内；底座上设有三个水平设置的拉伸弹簧，且呈辐射状均匀分布，夹紧部底部的横板通过拉伸弹簧连接底座，使得夹紧部能沿着底座的径向方向来回移动，以扩大或缩小样品台底面的大小；夹紧部的竖杆和支撑部均为竖直的，支撑部可拆卸地插接在底座的圆心处，一个竖杆与支撑部之间能放置一个煤样品；防撞定位组件包括防撞架和限位杆，防撞架的底部连接三个竖杆的顶部，防撞架上安装感应器，限位杆安装在探头的侧面，当感应器感应到限位杆时，原配样品台停止上移，避免煤样品碰撞探头。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于扫描电镜样品台，具体涉及一种用于扫描电镜测试的样品台。

技术介绍

1、扫描电子显微镜（sem）是一种高精度成像设备。在使用过程中，探头下方设有可移动的原配的样品台，该原配样品台上均匀设有若干通孔，样品固定在原配样品台上，再调节该样品台的位置，使得样品处于探头（镜头）的正下方，再控制样品台向上移动，最佳的观测位置是样品顶面距离探头10mm的位置，使得成像最为清晰。然而，人为手动调节样品台的误差较大，10mm的距离又太小，稍不注意，就会导致样品台上移过度，而使得样品撞到探头，这样极易导致探头损坏，进而造成严重的经济损失。

技术实现思路

1、针对上述问题，本专利技术提供一种用于扫描电镜测试的样品台，包括底座、支撑部、三个可移动的夹紧部和防撞定位组件，底座下表面的中央设有支撑柱，支撑柱能插入扫描电镜的原配样品台的通孔内，使得底座稳定放置在原配样品台上；

2、底座上设有三个水平设置的拉伸弹簧，且呈辐射状均匀分布，夹紧部底部的横板通过拉伸弹簧连接底座，使得夹紧部能沿着底座的径向方向来回移动，以扩本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于扫描电镜测试的样品台，其特征在于，用于扫描电镜测试的样品台，包括底座、支撑部、三个可移动的夹紧部和防撞定位组件，底座下表面的中央设有支撑柱，支撑柱能插入扫描电镜的原配样品台的通孔内，使得底座稳定放置在原配样品台上；

2.根据权利要求1所述的用于扫描电镜测试的样品台，其特征在于，所述底座为圆形，底座的上表面设有三条凹槽，呈放射状均匀分布，凹槽向底座凹陷，用于容纳所述横板和拉伸弹簧；底座的中央设有第一螺纹孔，用于连接支撑部；

3.根据权利要求2所述的用于扫描电镜测试的样品台，其特征在于，所述第一螺纹孔的内壁设有内螺纹，第一螺纹孔与底座同心设置，第一螺纹孔的...

【技术特征摘要】

1.一种用于扫描电镜测试的样品台，其特征在于，用于扫描电镜测试的样品台，包括底座、支撑部、三个可移动的夹紧部和防撞定位组件，底座下表面的中央设有支撑柱，支撑柱能插入扫描电镜的原配样品台的通孔内，使得底座稳定放置在原配样品台上；

2.根据权利要求1所述的用于扫描电镜测试的样品台，其特征在于，所述底座为圆形，底座的上表面设有三条凹槽，呈放射状均匀分布，凹槽向底座凹陷，用于容纳所述横板和拉伸弹簧；底座的中央设有第一螺纹孔，用于连接支撑部；

3.根据权利要求2所述的用于扫描电镜测试的样品台，其特征在于，所述第一螺纹孔的内壁设有内螺纹，第一螺纹孔与底座同心设置，第一螺纹孔的顶面与底座的上表面齐平；

4.根据权利要求2所述的用于扫描电镜测试的样品台，其特征在于，所述竖杆的顶端开口，且向内凹陷形成第二螺纹孔，第二螺纹孔内壁设有内螺纹；边定位部件包括顶部的圆形搭边一及搭边一下方的边定位钉，边定位钉的外侧面设有外螺纹；

5.根据权利要求3所述的用于扫描电镜测试的样品台，其特征在于，所述支撑部的顶端开口，且向内凹陷形成第三螺纹孔，第三螺纹孔内壁设有内螺纹；中定位部件包括顶部的圆形搭边二及搭边二下方的中定位钉，中定位钉的外侧面设有外螺纹；

6.根据权利要求4所述的用于扫描电镜测试的样品台，其特征在于，所述防撞架包括上支撑圈、下支撑圈和三个支杆，上支撑圈与下支...

【专利技术属性】
技术研发人员：严晓云，宁树正，田啸，邸少波，黄少青，张莉，
申请(专利权)人：中国煤炭地质总局勘查研究总院，
类型：发明
国别省市：