【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜,尤其是涉及一种可翻转的真空镀膜用治具。
技术介绍
1、随着真空镀膜技术的发展,对薄膜质量和镀膜效率提出了更高的要求。许多镀膜产品,比如半导体芯片,光学镜片,镜头等,在通常情况下需要进行双面镀膜。
2、例如专利公开号为:cn217579046u的专利,公开了一种用于真空双面连续镀膜的翻转治具机构。包括箱体、齿轮组件、连接件和载片治具;其中,齿轮组件包括齿轮,具体的:所述连接件内的连接杆的一端可旋转的穿透箱体的第一侧面与载片治具连接,并且,所述载片治具设置在箱体内;所述连接件的另一端通过齿轮与齿轮组件轴连。本技术通过电动伸缩杆的动力,带动带齿链条做往复运动,使齿轮的可以进行正转和反转,实现与齿轮连接的载片治具进行前后180°翻转进行镀膜。
3、针对上述中的相关技术,专利技术人认为现有的真空镀膜用治具用于固定工件的结构都较为单一,不能进行调节,对于不同规格的工件无法进行适配,还要花费大量的时间去更换治具装置,影响镀膜效率。
技术实现思路
1、为了解决上
...【技术保护点】
1.一种可翻转的真空镀膜用治具,包括底板(1)、转盘(2)以及加工台(3),其特征在于:所述底板(1)内部设有空槽(11),所述转盘(2)转动安设在所述空槽(11)内,所述底板(1)内部设有旋转机构(4)控制转盘(2)旋转,所述加工台(3)固定安装在所述转盘(2)上端,所述加工台(3)上端面设有两个可拆卸的第一夹板(5)以及两个可拆卸的第二夹板(6),两个所述第一夹板(5)沿加工台(3)横向方向相对设置,两个所述第二夹板(6)沿加工台(3)纵向方向相对设置,所述加工台(3)内部为空腔(31)结构,所述空腔(31)内设有调节机构(7)分别控制两个第一夹板(5)以及两个第
...【技术特征摘要】
1.一种可翻转的真空镀膜用治具,包括底板(1)、转盘(2)以及加工台(3),其特征在于:所述底板(1)内部设有空槽(11),所述转盘(2)转动安设在所述空槽(11)内,所述底板(1)内部设有旋转机构(4)控制转盘(2)旋转,所述加工台(3)固定安装在所述转盘(2)上端,所述加工台(3)上端面设有两个可拆卸的第一夹板(5)以及两个可拆卸的第二夹板(6),两个所述第一夹板(5)沿加工台(3)横向方向相对设置,两个所述第二夹板(6)沿加工台(3)纵向方向相对设置,所述加工台(3)内部为空腔(31)结构,所述空腔(31)内设有调节机构(7)分别控制两个第一夹板(5)以及两个第二夹板(6)做相对运动。
2.根据权利要求1所述的一种可翻转的真空镀膜用治具,其特征在于:所述旋转机构(4)包括转轴(41)和电机(42),所述转轴(41)下端与所述空槽(11)底部转动连接,所述转轴(41)上端与所述转盘(2)固定连接,所述电机(42)的驱动端固定安装有主动齿轮(43),所述转轴(41)外端面上固定套接有从动齿轮(44),所述主动齿轮(43)与所述从动齿轮(44)啮合连接。
3.根据权利要求1所述的一种可翻转的真空镀膜用治具,其特征在于:所述加工台(3)上端面沿横向方向对称开设有两个第一滑槽(32),所述加工台(3)上端面沿纵向方向对称开设有两个第二滑槽(33),所述第一夹板(5)和所述第二夹板(6)的下端分别固定有第一滑块(51)和第二滑块(61),所述第一滑块(51)与所述第一滑槽(32)活动连接,所述第二滑块(61)与所述第二滑槽(33)活动连接。
4.根据权利要求3所述的一种可翻转的真空镀膜用治具,其特征在于:所述调节机构(7)包括第一双向丝杆(71)和第二双向丝杆(72),所述第一双向丝杆(71)沿空腔(31)横向方向设置并与所述空腔(31)内壁转动连接,所述第二双向丝杆(72)沿空腔(31)纵向方向设置并与所述空腔(31)内壁转动连接,所述第二双向丝杆(72)安装在所述第一双向丝杆(71)的下方并与所述第一双向丝杆(71)相互垂直。
5.根据权利要求4所述的一种可翻转的真空镀膜用治具,其特征在于:所述第一双向丝杆(71)外表面的两端对称螺纹连接有两个第一连接块(73),所...
【专利技术属性】
技术研发人员:罗小庆,
申请(专利权)人:东莞市建林真空镀膜有限公司,
类型:新型
国别省市:
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