一种PVD加工用正反导通隔绝夹具制造技术

本技术公开了一种PVD加工用正反导通隔绝夹具，属于PVD加工技术领域，包括底座，所述底座为圆形结构体；载料台，所述载料台设置于所述底座上，所述载料台上设有载料空腔，所述载料空腔内设置有伸缩部，以将待加工的基材进行可伸缩容纳；挡板，所述挡板设置于所述载料台表面，所述挡板凸出于所述载料空腔的边缘部分，将位于所述载料空腔内的基材阻挡。本技术的PVD加工用正反导通隔绝夹具能够在基材进行PVD加工时，能够避免基材在进行PVD加工过程中出现基材的正反面导通的情况，并且能够减少基材的污染、裂片风险，大大降低后续工艺NG的风险，为PVD工艺以及后续的工艺提供了优良条件。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于pvd加工，尤其涉及一种pvd加工用正反导通隔绝夹具。

技术介绍

1、现有的衬底玻璃、硅片及陶瓷在进行pvd加工时，需要对其正反金属层进行隔绝导通，目前常用的方式为贴高温胶带，即将高温胶带粘贴于基材的边缘，再将基材放入pvd内进行溅射操作，以达到正反两面绝缘的效果。不过这种方式存在裂片风险，不仅可能对基材表面产生赃物，也对pvd腔室有一定污染风险，并且手动贴胶带会导致基材与基材之间金属面积不一致，会导致后续电镀工艺膜厚会发生差异，也增加了操作者的工作量。

技术实现思路

1、本技术克服了现有技术的不足，提供一种pvd加工用正反导通隔绝夹具，以解决现有技术中存在的问题。

2、为达到上述目的，本技术采用的技术方案为：一种pvd加工用正反导通隔绝夹具，包括

3、底座，所述底座为圆形结构体；

4、载料台，所述载料台设置于所述底座上，所述载料台上设有载料空腔，所述载料空腔内设置有伸缩部，以将待加工的基材进行可伸缩容纳；

5、挡板，所述挡板设置于所述载料台表面，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种PVD加工用正反导通隔绝夹具，其特征在于，包括

2.根据权利要求1所述的一种PVD加工用正反导通隔绝夹具，其特征在于，所述伸缩部(40)包括伸缩弹簧(41)以及伸缩板(42)，所述伸缩弹簧(41)安装于所述载料空腔(21)内，所述伸缩板(42)安装于所述伸缩弹簧(41)上，以对基材进行承载。

3.根据权利要求2所述的一种PVD加工用正反导通隔绝夹具，其特征在于，所述伸缩弹簧(41)数量为若干个，且呈均匀分布于所述载料空腔(21)内。

4.根据权利要求1所述的一种PVD加工用正反导通隔绝夹具，其特征在于，所述挡板(30)为圆环状结构体，所述挡板(...

【技术特征摘要】

1.一种pvd加工用正反导通隔绝夹具，其特征在于，包括

2.根据权利要求1所述的一种pvd加工用正反导通隔绝夹具，其特征在于，所述伸缩部(40)包括伸缩弹簧(41)以及伸缩板(42)，所述伸缩弹簧(41)安装于所述载料空腔(21)内，所述伸缩板(42)安装于所述伸缩弹簧(41)上，以对基材进行承载。

【专利技术属性】
技术研发人员：陈思维，宋义，
申请(专利权)人：苏州森丸电子技术有限公司，
类型：新型
国别省市：