下载一种PVD加工用正反导通隔绝夹具的技术资料

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本技术公开了一种PVD加工用正反导通隔绝夹具,属于PVD加工技术领域,包括底座,所述底座为圆形结构体;载料台,所述载料台设置于所述底座上,所述载料台上设有载料空腔,所述载料空腔内设置有伸缩部,以将待加工的基材进行可伸缩容纳;挡板,所述挡板设...
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