一种基于铌酸锂光子波导的混合集成外腔可调谐激光器制造技术

技术编号:45899103 阅读:7 留言:0更新日期:2025-07-22 21:26
本发明专利技术涉及外腔激光器技术领域,具体提供一种基于铌酸锂光子波导的混合集成外腔可调谐激光器,包括端面耦合的半导体光放大器和光子芯片,光子芯片的波导层为铌酸锂材料,光子芯片包括相位调制器、游标微环滤波器和非对称MZI,相位调制器基于铌酸锂材料的电光效应实现激光相位调节;游标微环滤波器基于游标微环滤波器的游标效应和铌酸锂材料的电光效应,实现激光波长调节;非对称MZI基于铌酸锂材料的电光效应,在不同波长激光下实现边模抑制;通过对相位调制器、游标微环滤波器和非对称MZI的电极同步施加时变电压信号,实现激光的大带宽线性调频。本发明专利技术制造工艺简单,调谐响应速度快,基于铌酸锂材料的电光效应,实现了激光器大带宽线性调频。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于外腔激光器,尤其涉及一种基于铌酸锂光子波导的混合集成外腔可调谐激光器


技术介绍

1、随着新能源汽车和智能驾驶技术的快速发展,及人们对于驾驶安全性意识的提高,近年来出现应用于智能驾驶的新技术,调频连续波激光雷达技术凭借测量距离远、测距精度高、抗干扰能力强等优势成为极具应用潜力的智能驾驶测距方案,其通过激光器发射出频率随时间线性变化的光,经物体反射后的光与激光器发射光频率拍频,拍频信号经探测器和计算机计算可得到物体距离和物体速度信息。

2、线性调频激光雷达技术的难点是产生高线性度、调频带宽大的激光信号,发射光的线性度和调频带宽直接影响测量距离和测量精度。对于远距离测距,线性调频激光雷达技术对激光器有很高要求:第一,激光器发射的光具有极高线性度;第二,激光器调制带宽至少在ghz级;第三,激光器线宽要窄(小于1百khz)。

3、目前已存在多种能够实现线性调频的激光器方案:

4、如利用电流直接调制激光器的方案,但该方案调制获得激光的线性度较低,并且外调制激光器成本高,体积大,工艺难度大。

5、如公布号为本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于铌酸锂光子波导的混合集成外腔可调谐激光器,其特征在于,包括:半导体光放大器,以及波导层为铌酸锂材料的光子芯片;

2.根据权利要求1所述的基于铌酸锂光子波导的混合集成外腔可调谐激光器,其特征在于,所述半导体光放大器为反射型半导体光放大器,其用于提供激光增益介质。

3.根据权利要求1所述的基于铌酸锂光子波导的混合集成外腔可调谐激光器,其特征在于,所述半导体光放大器与所述光子芯片端面耦合,所述半导体光放大器与所述光子芯片的耦合端面上镀有增透膜,所述半导体光放大器相对于所述光子芯片的远端面上镀有增反膜。

4.根据权利要求1所述的基于铌酸锂光子波导的...

【技术特征摘要】

1.一种基于铌酸锂光子波导的混合集成外腔可调谐激光器,其特征在于,包括:半导体光放大器,以及波导层为铌酸锂材料的光子芯片;

2.根据权利要求1所述的基于铌酸锂光子波导的混合集成外腔可调谐激光器,其特征在于,所述半导体光放大器为反射型半导体光放大器,其用于提供激光增益介质。

3.根据权利要求1所述的基于铌酸锂光子波导的混合集成外腔可调谐激光器,其特征在于,所述半导体光放大器与所述光子芯片端面耦合,所述半导体光放大器与所述光子芯片的耦合端面上镀有增透膜,所述半导体光放大器相对于所述光子芯片的远端面上镀有增反膜。

4.根据权利要求1所述的基于铌酸锂光子波导的混合集成外腔可调谐激光器,其特征在于,所述光子芯片的材料层包括:

5.根据权利要求1所述的基于铌酸锂光子波导的混合集成外腔可调谐激光器,其特征在于,所述相位调制器包括设于所述游标微环滤波器前端波导段的第一相位调制器和设于所述游标微环滤波器后端波导段的第二相位调制器。

6.根据权利要求1所述的基于铌酸锂光子波导的混合集成外腔可调谐激光器,其特征在于,所述第一微环滤波器和所述第二微环滤波器的周长均为2000-2500um,且两者的周长差为1-10um。

7.根据权利要求1所述的基于铌酸锂光子波导的混合集成外腔可调谐激光...

【专利技术属性】
技术研发人员:梁磊李尧王玉冰贾鹏陈泳屹宋悦雷宇鑫邱橙秦莉王立军
申请(专利权)人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
类型:发明
国别省市:

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