膜厚测量仪自动进料出料装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种能够实现自动送料，实现试样自动移动检测的膜厚测量仪自动进料出料装置。该膜厚测量仪自动进料出料装置包括安装支架；所述安装支架上设置有将安装支架固定安装在膜厚测量仪上的夹紧装置；所述安装支架上设置有第一水平移动的第一滑动块；所述第一滑动块上设置有第二滑块；所述第二滑块上设置有转动槽；所述转动槽内转动安装有转动吸盘；所述支架的两侧均设置有转盘；所述转盘上设置有第一竖向伸缩装置；所述第一竖向伸缩装置的伸缩端设置有摆臂；所述摆臂一端设置有第二竖向伸缩装置；所述第二竖向伸缩装置下端设置有检测件吸附装置。采用该膜厚测量仪自动进料出料装置能够提高检测效率，简化检测操作，提高检测准确性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及膜厚测量仪，尤其是膜厚测量仪自动进料出料装置。

技术介绍

1、薄膜的厚度非常关键，尤其是在制造大规模集成电路时，薄膜的厚度必须严格控制；其直接影响到材料的许多性能，如透光性、磁性和热导性。因此，需要精确地测量薄膜的厚度；在测量薄膜厚度的过程中需要采用特定的测量方法和仪器，以确保薄膜的厚度符合严格的工业标准。

2、膜厚测量仪是一种常用的用于测量膜厚的设备。现有的膜厚测量仪在测量器件膜厚度的过程中，一般都是通过人工将试样放置在检测台上进行检测。在放置试样时，工作人员需要佩戴手套。在检测的过程中为了保证检测的准确性，需要工作人员不断地移动试样，从而完成试样上各个位置膜厚的检测。因此操作复杂，检测效率低；并且准确性较低。

技术实现思路

1、本专利技术所要解决的技术问题是提供一种能够实现自动送料，实现试样自动移动检测，简化检测操作，提高检测准确性的膜厚测量仪自动进料出料装置。

2、本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：膜厚测量仪自动进料出料装置，包括安装支架；所述安装支架上设本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.膜厚测量仪自动进料出料装置，其特征在于：包括安装支架(100)；所述安装支架(100)上设置有将安装支架(100)固定安装在膜厚测量仪(900)上的夹紧装置；

2.如权利要求1所述的膜厚测量仪自动进料出料装置，其特征在于：所述夹紧装置包括安装支架(100)两侧的拉杆(120)；所述拉杆(120)穿过安装支架(100)；所述拉杆(120)一端设置有限位头(121)；另一端设置有锁紧套(122)；

3.如权利要求1所述的膜厚测量仪自动进料出料装置，其特征在于：所述水平驱动装置采用丝杆驱动；

4.如权利要求1所述的膜厚测量仪自动进料出料装置，其特征在于：...

【技术特征摘要】

1.膜厚测量仪自动进料出料装置，其特征在于：包括安装支架(100)；所述安装支架(100)上设置有将安装支架(100)固定安装在膜厚测量仪(900)上的夹紧装置；

2.如权利要求1所述的膜厚测量仪自动进料出料装置，其特征在于：所述夹紧装置包括安装支架(100)两侧的拉杆(120)；所述拉杆(120)穿过安装支架(100)；所述拉杆(120)一端设置有限位头(121)；另一端设置有锁紧套(122)；

3.如权利要求1所述的膜厚测量仪自动进料出料装置，其特征在于：所述水平驱动装置采用丝杆驱动；

4.如权利要求1所述的膜厚测量仪自动进料出料装置，其特征在于：所述横向驱动装置采用丝杆驱动；

5.如权利要求1所述的膜厚测量仪自动进料出料装置，其特征在于：所述转动槽(510)的一侧设置有转动轴(520)；所述转动轴(520)上设置有螺旋；所述转...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈春明，廖秋林，文帆，许明群，
申请(专利权)人：桂林雷光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：