【技术实现步骤摘要】
本技术涉及夹持装置，具体为一种半导体硅外延片检测用夹持装置。
技术介绍
1、外延是半导体工艺当中的一种，在bipolar工艺中，硅片最底层是p型衬底硅(有的加点埋层)，然后在衬底上生长一层单晶硅，这层单晶硅称为外延层，再后来在外延层上注入基区、发射区等等，最后基本形成纵向npn管结构：外延层在其中是集电区，外延上面有基区和发射区，外延片就是在衬底上做好外延层的硅片，外延片在生产完毕后需要对其进行检测，检测合格的外延片才能出厂使用，为了更好的对外延片进行检测，所以提出一种半导体硅外延片检测用夹持装置。
2、如授权公告号为cn220963291u所公开的一种半导体外延片检测用夹持装置，包括支撑座、放置台，所述放置台的底端与支撑座的顶端固定连接，所述放置台的顶端设有固定环，所述固定环的外环底端一侧固定连接有升降装置，所述固定环的外环底端均匀固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆的底端均与支撑座的上表面固定连接，所述固定环的底端均匀设有弹簧一，所述弹簧一的底端固定连接有抵环，所述抵环的底端粘附有海绵垫一，所述固定环的顶端对称设有四个滑槽二，所...
【技术保护点】
1.一种半导体硅外延片检测用夹持装置，包括底座(1)和提升框架(2)，其特征在于：所述底座(1)的顶端安装有提升框架(2)，所述提升框架(2)的顶端安装有提升电机(14)，所述提升电机(14)的输出端安装有螺纹杆(12)，且螺纹杆(12)与提升框架(2)活动连接，所述螺纹杆(12)的表面套装有螺纹套(13)，且螺纹套(13)与螺纹杆(12)螺纹连接，并且螺纹套(13)与提升框架(2)滑动连接，所述螺纹套(13)的侧壁上安装有旋转座(3)，所述旋转座(3)的内部活动安装有第一电动推杆(5)，所述第一电动推杆(5)的输出端安装有第一推臂(6)，所述第一推臂(6)远离第一电...
【技术特征摘要】
1.一种半导体硅外延片检测用夹持装置，包括底座(1)和提升框架(2)，其特征在于：所述底座(1)的顶端安装有提升框架(2)，所述提升框架(2)的顶端安装有提升电机(14)，所述提升电机(14)的输出端安装有螺纹杆(12)，且螺纹杆(12)与提升框架(2)活动连接，所述螺纹杆(12)的表面套装有螺纹套(13)，且螺纹套(13)与螺纹杆(12)螺纹连接，并且螺纹套(13)与提升框架(2)滑动连接，所述螺纹套(13)的侧壁上安装有旋转座(3)，所述旋转座(3)的内部活动安装有第一电动推杆(5)，所述第一电动推杆(5)的输出端安装有第一推臂(6)，所述第一推臂(6)远离第一电动推杆(5)的一端安装有集成框架(4)，所述集成框架(4)的上下两端皆安装有固定环(9)，所述第一电动推杆(5)的表面套装有旋转齿轮(15)，所述旋转座(3)的顶端安装有第二电动推杆(20)，所述第二电动推杆(20)的输出端安装有第二推臂(21)，所述第二推臂(21)的底端安装有齿条(22)，且齿条(22)与旋转齿轮(15)相互啮合。
2.根据权利要求1所述的一种半导体硅外延片检测用夹持装置，其特征在于：所述集成框架(4)的内部对称安装有三组支撑块(16)，且支撑块(16)与集成框架(4)固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种半导体硅外延片检测用夹持装置，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：裴勇康，陈泽，
申请(专利权)人：国芯半导体仪征有限公司，
类型：新型
国别省市：
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