温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术公开了一种半导体硅外延片检测用夹持装置，包括底座和提升框架，所述底座的顶端安装有提升框架，所述提升框架的顶端安装有提升电机，所述提升电机的输出端安装有螺纹杆，且螺纹杆与提升框架活动连接，所述螺纹杆的表面套装有螺纹套，且螺纹套与螺纹杆螺...
该专利属于国芯半导体（仪征）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过国芯半导体（仪征）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。