【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空镀膜，具体为一种自适应真空镀膜智能控制系统。
技术介绍
1、在当今科技飞速发展的时代，众多行业对真空镀膜技术的依赖程度与日俱增，从电子设备的小型化、高性能化，对镀膜技术的特殊要求，都凸显了优质真空镀膜的重要性。
2、传统的真空镀膜技术在数据采集方面，仅能获取少量基础数据，数据采集也不够精细，无法实时捕捉环境参数的动态变化，缺乏系统的数据处理和分析能力，对于采集到的数据，无法进行深度关联计算，难以从多个维度综合评估镀膜状态，不同类型的数据各自孤立，无法形成全面反映镀膜过程的综合指标，难以根据镀膜状态的变化及时进行调整。
技术实现思路
1、（一）解决的技术问题
2、针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种自适应真空镀膜智能控制系统，通过数据采集模块采集镀膜材料的物理特性数据、真空室内的环境数据、运行数据和电磁场强度数据，数据传输模块将这些数据送至控制系统，数据计算模块依据不同数据分别计算出镀膜质量综合指数、镀膜环境综合指数、镀膜设备运行综合指数和镀膜电...
【技术保护点】
1.一种自适应真空镀膜智能控制系统，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的一种自适应真空镀膜智能控制系统，其特征在于：计算镀膜均匀性指数CUI和镀膜合格指数MQW的方法为：
3.根据权利要求2所述的一种自适应真空镀膜智能控制系统，其特征在于：计算镀膜性能偏差指数CPD的方法为：
4.根据权利要求3所述的一种自适应真空镀膜智能控制系统，其特征在于：计算镀膜质量综合指数BEI的方法为：
5.根据权利要求4所述的一种自适应真空镀膜智能控制系统，其特征在于：计算镀膜环境综合指数HYT的方法为：
6.根据权利要求...
【技术特征摘要】
1.一种自适应真空镀膜智能控制系统，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的一种自适应真空镀膜智能控制系统，其特征在于：计算镀膜均匀性指数cui和镀膜合格指数mqw的方法为：
3.根据权利要求2所述的一种自适应真空镀膜智能控制系统，其特征在于：计算镀膜性能偏差指数cpd的方法为：
4.根据权利要求3所述的一种自适应真空镀膜智能控制系统，其特征在于：计算镀膜质量综合指数bei的方法为：
5.根据权利要求4所述的一种自适应真空镀膜智能控制系统，其特征在于：计算镀膜环境综合指数hyt的方法为：
6.根据权利要求5所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：夏杰，陈远航，潘仁峰，
申请(专利权)人：苏州慧连航科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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