下载一种自适应真空镀膜智能控制系统的技术资料

文档序号:45848104

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种自适应真空镀膜智能控制系统,涉及真空镀膜技术领域,主要方案为:通过数据采集模块采集镀膜材料的物理特性数据、真空室内的环境数据、运行数据和电磁场强度数据,数据传输模块将这些数据送至控制系统,数据计算模块依据不同数据分别计算出镀...
该专利属于苏州慧连航科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州慧连航科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。