用于光学检查物体的方法以及相应的检查设备技术

本发明专利技术涉及一种用于物体的光学检查的有成本效益的方法和相应的检查设备，其中，检查设备包括照明单元和矩阵相机，其中，物体和检查设备相对于彼此在馈送方向上以预定移动速度执行相对移动，其中照明单元用相应的照明图案连续地照射物体，照明图案包括在馈送方向上间隔开间隙长度L<subgt;AB</subgt;的N1（N1≥2）条明暗条纹，每条明暗条纹在馈送方向上具有长度L<subgt;ST</subgt;，并且包括在横向方向上并排布置的多个相同的明暗结构，每个明暗结构在横向方向上形成周期B1，在馈送方向上相邻的每对明暗条纹在横向方向上具有相移B1/N1，其中矩阵相机在物体的照明区域的图像捕获序列中生成多个图像捕获，使得每个图像捕获同时记录在横向方向上预定宽度上的所有N1条明暗条纹，并且其中矩阵相机经由对应的接口向计算单元提供图像捕获数据以用于检查物体。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

技术介绍

技术实现思路

【技术保护点】

1.一种借助于检查设备对物体（1）进行光学检查的方法，其中，所述检查设备包括至少一个照明单元（31，32）和至少一个矩阵相机（5），其中所述物体和所述检查设备以预定的移动速度相对于彼此在馈送方向上执行相对移动，其中所述至少一个照明单元借助于相应的照明图案（43，44）持续地照射所述物体，其中所述至少一个照明单元被配置成使得所述照明图案包括N1（N1≥2）条明暗条纹（43a，43b，43c，43d），所述明暗条纹在所述馈送方向上以间隙长度LAB彼此间隔开，所述明暗条纹在所述馈送方向上具有长度LST并且具有在横向方向上相邻布置的多个相同的明暗结构，其中每个明暗结构被配置为在所述横向方向上形成...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种借助于检查设备对物体（1）进行光学检查的方法，其中，所述检查设备包括至少一个照明单元（31，32）和至少一个矩阵相机（5），其中所述物体和所述检查设备以预定的移动速度相对于彼此在馈送方向上执行相对移动，其中所述至少一个照明单元借助于相应的照明图案（43，44）持续地照射所述物体，其中所述至少一个照明单元被配置成使得所述照明图案包括n1（n1≥2）条明暗条纹（43a，43b，43c，43d），所述明暗条纹在所述馈送方向上以间隙长度lab彼此间隔开，所述明暗条纹在所述馈送方向上具有长度lst并且具有在横向方向上相邻布置的多个相同的明暗结构，其中每个明暗结构被配置为在所述横向方向上形成周期b1，并且例如由在所述横向方向上相邻布置的一个明场和一个暗场组成，其中在馈送方向上相邻的每对明暗条纹之间，呈现出在所述横向方向上宽度为b1/n1的相移，其中，所述至少一个矩阵相机在图像捕获序列中对由所述照明单元各自照射的所述物体的区域生成多个图像捕获，使得在所述图像捕获序列的每个图像捕获中，在所述横向方向上的预定宽度上同时捕获所述照明图案的所有n1条明暗条纹，其中所述矩阵相机的所述图像捕获序列与相对于所述照明图案在所述馈送方向上的所述移动速度同步，使得物体和检查设备在所述馈送方向上的两个紧接着的图像捕获之间的所述相对移动最大为l = lab + lst，并且其中所述矩阵相机使得所述图像捕获的数据在对应的接口（54）处能够用于计算单元（7），使得所述计算单元能够基于所述照明图案的所述图像捕获的数据来执行对所述物体的检查。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，对于所述n1条明暗条纹中的每一条明暗条纹，将所述矩阵相机的重合图像捕获区域分配给所述物体的每个真实位置。

3.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，作为物体检查的一部分，基于源自所述明暗结构的所述暗场的所述图像捕获的数据来执行缺陷检测和/或基于源自所述明暗结构的所述明场的所述图像捕获的数据来执行缺陷检测。

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述照明图案另外包括区段（44），所述区段（44）具有在所述馈送方向上相邻定位的至少n2（n2≥2）个横向线结构（a、b、c、d、e），其中每个横向线结构包括在所述照明图案的整个宽度上延伸的一条明线和一条暗线，其中每个横向线结构在所述馈送方向上的长度ml最大为lmax。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，基于所述明暗条纹的n1个连续产生的图像捕获和所述横向线结构的至少（n2-1）×4个产生的图像捕获，从所述物体的表面上的多个位置确定在所述横向方向和/或在所述馈送...

【专利技术属性】
技术研发人员：S·卢特，
申请(专利权)人：伊斯拉视像有限责任公司，
类型：发明
国别省市：