用于检测反射表面上的局部缺陷的方法和装置制造方法及图纸

技术编号:40948121 阅读:20 留言:0更新日期:2024-04-18 20:22
本发明专利技术涉及一种用于通过装置(10)来检测反射表面(13)上的局部缺陷的方法,该方法能高速检测反射表面上的缺陷。该装置(10)具有用于在反射表面上反射的至少一个图案(12)、至少一个相机(1)和数据处理单元(7),其中:图案具有至少一个基本上线形的明暗过渡部;相机的位置和朝向是已知的;相机拍摄在表面上反射的图案并且生成反射图案的图像数据,图像数据被从相机传输到数据处理单元;并且数据处理单元基于对反射图案的图像数据中的至少一个明暗过渡部的至少一个特性的评估来确定表面上的局部缺陷。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及用于检测反射表面上的局部缺陷的方法和装置,其中,该装置包括用于在反射表面上反射的至少一个图案、至少一个相机和数据处理单元。本专利技术还涉及计算机程序产品和计算机可读数据载体。


技术介绍

1、在已知的用于测量反射表面的形状的方法中,通过反射表面反射已知形状和位置的图案,并且用相机观察和评估反射图像。术语“偏折测量”也用于这种方法。

2、这种偏折测量方法已经存在大量的变体。在已知的方法中,使用相机来观察图案在表面上反射的反射图像。该图案按照不同图案的平面序列或时间序列以某种方式编码,这些不同图案被一个接一个地记录以产生一个或多个对应的图像。可以在一个或多个图像中识别这些图案。因此,当使用数码相机时,可以将每个相机像素分配给一个或多个图案上的正被该像素看到的一个点。由于预先校准的缘故,系统知晓相机和(多个)图案在空间中的位置。然后,该信息可用于确定表面的诸如倾斜度或曲率等各种几何特性,并且根据已知系统的结构,还可以确定表面的形状。然后,可以使用这些表面特性来确定表面是否包含缺陷。在文献wo 2007/115621a2中示出了这种方法的示本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于通过装置(10)检测反射表面(13)上的局部缺陷的方法,所述装置(10)包括用于在所述反射表面上反射的至少一个图案(12)、至少一个相机(1)和数据处理单元(7),其中,所述图案包括至少一个基本上线形的明暗过渡部,所述相机的位置和朝向是已知的,其中,所述相机记录在所述表面上反射的所述图案,并且生成所述反射图案的图像数据,所述图像数据被从所述相机传输到所述数据处理单元,其中,所述数据处理单元基于对所述反射图案的所述图像数据中的所述至少一个明暗过渡部的至少一个特性的评估来确定所述表面上的局部缺陷。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述图像数据中的所述至少一个...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种用于通过装置(10)检测反射表面(13)上的局部缺陷的方法,所述装置(10)包括用于在所述反射表面上反射的至少一个图案(12)、至少一个相机(1)和数据处理单元(7),其中,所述图案包括至少一个基本上线形的明暗过渡部,所述相机的位置和朝向是已知的,其中,所述相机记录在所述表面上反射的所述图案,并且生成所述反射图案的图像数据,所述图像数据被从所述相机传输到所述数据处理单元,其中,所述数据处理单元基于对所述反射图案的所述图像数据中的所述至少一个明暗过渡部的至少一个特性的评估来确定所述表面上的局部缺陷。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述图像数据中的所述至少一个明暗过渡部的特性包括所述图像数据中的所述至少一个明暗过渡部的形状,和/或所述图像数据中的所述至少一个明暗过渡部的预定区域中的对比度,和/或所述图像数据中的跨越所述至少一个明暗过渡部的预定距离上的亮度变化。

3.根据前述任一项权利要求所述的方法,其特征在于,所述图案相对于所述表面的位置是未知的。

4.根据前述任一项权利要求所述的方法,其特征在于,所述图案包括形成两个明暗过渡部的至少一个条纹,并且所述数据处理单元评估所述至少一个条纹的宽度以确定所述表面上的局部缺陷。

5.根据前述任一项权利要求所述的方法,其特征在于,在所述相机记录所述反射图案期间,所述图案和/或所述表面执行相对彼此的相对运动。

6.一种用于检测反射表面(13)上的局部缺陷的装置(10),其包括用于在所述反射表面上反射的至少一个图案(12)、至少一个相机(1...

【专利技术属性】
技术研发人员:克劳斯·威特
申请(专利权)人:伊斯拉视像有限责任公司
类型:发明
国别省市:

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