【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于热激光蒸镀(thermal laser evaporation，tle)系统的激光光束的光束线，光束线在光束线的源端(source end)与光束线的室端(chamber end)之间延伸，由此，源端可与激光源连接，且室端可与tle系统的反应室连接，光束线包括：一个或多个光学区段，用于改变和/或控制激光光束的属性，和/或一个或多个线性引导区段；其中，每个光学区段及引导区段分别包括壳体，壳体具有：包括第一连接接口的上游端；包括第二连接接口的下游端；以及区段腔，该区段腔在壳体内从位于上游端中的第一区段开口连续延伸至位于下游端中的第二区段开口。另外，本专利技术涉及一种用于热激光蒸镀系统的激光系统，其包括用于提供激光光束的激光源和根据本专利技术的相应光束线。此外，本专利技术涉及一种热激光蒸镀系统，其包括：可用反应气氛填充的反应室；布置于反应室中的基板；布置于反应室中的一个或多个源；以及根据本专利技术的相应激光系统，用于提供激光光束，所述激光光束用于使源的材料蒸发和/或升华和/或对基板的材料加热。
技术介绍
1、在热激光蒸镀...
【技术保护点】
1.一种用于热激光蒸镀(TLE)系统(300)的激光光束(220)的光束线(10)，所述光束线(10)在该光束线(10)的源端(20)与该光束线(10)的室端(30)之间延伸，由此，所述源端(20)能与激光源(210)连接，且所述室端(30)能与所述TLE系统(300)的反应室(310)连接，
2.根据权利要求1所述的光束线(10)，
3.根据权利要求2所述的光束线(10)，
4.根据权利要求3所述的光束线(10)，
5.根据前述权利要求2至4中任一项所述的光束线(10)，
6.根据前述权利要求1至5中任一项...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种用于热激光蒸镀(tle)系统(300)的激光光束(220)的光束线(10)，所述光束线(10)在该光束线(10)的源端(20)与该光束线(10)的室端(30)之间延伸，由此，所述源端(20)能与激光源(210)连接，且所述室端(30)能与所述tle系统(300)的反应室(310)连接，
2.根据权利要求1所述的光束线(10)，
3.根据权利要求2所述的光束线(10)，
4.根据权利要求3所述的光束线(10)，
5.根据前述权利要求2至4中任一项所述的光束线(10)，
6.根据前述权利要求1至5中任一项所述的光束线(10)，
7.根据权利要求6所述的光束线(10)，
8.根据权利要求7所述的光束线(10)，
9.根据前述权利要求1至8中任一项所述的光束线(10)，
10.根据前述权利要求1至9中任一项所述的光束线(10)，
11.根据权利要求10所述的光束线(10)，
12.根据权利要求10或11所述的光束线(10)，
13.根据前述权利要求1至12中任一项所述的光束线(10)，
14.根据权利要求13所述的光束线(10)，
15.根据权利要求10和14所述的光束线(10)，
16.根据权利要求10和14所述的光束线(10)，
17.根据权利要求10和14所述的光束线(10)，
18.根据权利要求13至17中任一项所述的光束线(10)，
19.根据前述权利要求1至18中任一项所述的光束线(10)，
20.根据前述权利要求1至19中任一项所述的光束线(10)，
21.根据权利要求20所述的光束线(10)，
22.根据前述权利要求1至21中任一项所述的光束线(10)，
23.根据权利要求22所述的光束线(10)，
24.根据权利要求22或33所述的光束线(10)，
25.根据前...
【专利技术属性】
技术研发人员：W·布劳恩，J·曼哈特，J·A·博斯克尔，
申请(专利权)人：马克斯·普朗克科学促进学会，
类型：发明
国别省市：
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