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本发明涉及用于热激光蒸镀(TLE)系统(300)的激光光束(220)的光束线(10)，光束线(10)在光束线(10)的源端(20)与光束线(10)的室端(30)之间延伸，由此，源端(20)可与激光源(210)连接，且室端(30)可与热激光蒸...该专利属于马克斯·普朗克科学促进学会所有，仅供学习研究参考，未经过马克斯·普朗克科学促进学会授权不得商用。
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本发明涉及用于热激光蒸镀(TLE)系统(300)的激光光束(220)的光束线(10)，光束线(10)在光束线(10)的源端(20)与光束线(10)的室端(30)之间延伸，由此，源端(20)可与激光源(210)连接，且室端(30)可与热激光蒸...