单晶炉制造技术

本技术提供了一种单晶炉，包括第一炉室、第二炉室和翻板阀结构，第一炉室用于盛放坩埚，第一炉室具有顶盖结构，且顶盖结构处具有连通孔；第二炉室位于第一炉室的上方，并与第一炉室连接，第二炉室通过连通孔与第一炉室连通；翻板阀结构可开闭地设置在连通孔处，以打开和关闭连通孔；其中，翻板阀结构朝向第一炉室一侧的部分表面为弧形面，且弧形面的外周缘处朝向第一炉室一侧延伸，弧形面的几何中心处朝向第二炉室一侧延伸。本技术解决了现有技术中的单晶炉的翻板阀的结构不合理，导致坩埚内大量的热量以热辐射的形式传递至翻板阀并被水冷系统带走，致使热量的散失较为严重的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶硅制造设备，具体而言，涉及一种单晶炉。

技术介绍

1、单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)的环境中，通过加热器将多晶硅等多晶材料熔化，并以直拉法生长无错位单晶的设备。

2、单晶炉通常具有主炉室和副炉室，副炉室位于主炉室的上方，主炉室和副炉室之间通过翻板阀进行隔离，但是，现有的翻板阀的结构设计不合理，导致坩埚内大量的热量以热辐射的形式传递至翻板阀并被水冷系统带走，致使热量的散失较为严重。

技术实现思路

1、本技术的主要目的在于提供一种单晶炉，以解决现有技术中的单晶炉的翻板阀的结构不合理，导致坩埚内大量的热量以热辐射的形式传递至翻板阀并被水冷系统带走，致使热量的散失较为严重的问题。

2、为了实现上述目的，本技术提供了一种单晶炉，包括第一炉室、第二炉室和翻板阀结构，第一炉室用于盛放坩埚，第一炉室具有顶盖结构，且顶盖结构处具有连通孔；第二炉室位于第一炉室的上方，并与第一炉室连接，第二炉室通过连通孔与第一炉室连通；翻板阀结构可开闭地设置在连通孔处，以打开和关闭连通孔；其中，翻板本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种单晶炉，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述弧形面为球面的一部分。

3.根据权利要求2所述的单晶炉，其特征在于，至少所述弧形面所在球型的球半径R满足将反射光汇聚至所述坩埚的几何中心处。

4.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述翻板阀结构(10)朝向所述第一炉室一侧的表面包括反射区域(11)和装配区域(12)，其中，所述反射区域(11)具有所述弧形面，所述装配区域(12)呈环状，并位于所述反射区域(11)的外周侧，所述装配区域(12)用于与所述第一炉室密封连接。

5.根据权利要求4所述的单晶炉，...

【技术特征摘要】

1.一种单晶炉，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述弧形面为球面的一部分。

3.根据权利要求2所述的单晶炉，其特征在于，至少所述弧形面所在球型的球半径r满足将反射光汇聚至所述坩埚的几何中心处。

4.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述翻板阀结构(10)朝向所述第一炉室一侧的表面包括反射区域(11)和装配区域(12)，其中，所述反射区域(11)具有所述弧形面，所述装配区域(12)呈环状，并位于所述反射区域(11)的外周侧，所述装配区域(12)用于与所述第一炉室密封连接。

5.根据权利要求4所述的单晶炉，其特征在于，所述装配区域(12)为环形平面。

【专利技术属性】
技术研发人员：王文佳，潘军明，张骏凯，王永谦，陈刚，
申请(专利权)人：珠海富山爱旭太阳能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：