下载单晶炉的技术资料

文档序号:45638855

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本技术提供了一种单晶炉,包括第一炉室、第二炉室和翻板阀结构,第一炉室用于盛放坩埚,第一炉室具有顶盖结构,且顶盖结构处具有连通孔;第二炉室位于第一炉室的上方,并与第一炉室连接,第二炉室通过连通孔与第一炉室连通;翻板阀结构可开闭地设置在连通孔处...
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