【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种致动器结构及包含其的液体喷吐装置。
技术介绍
1、压电式喷墨打印技术相比于热泡式喷墨打印技术，具有喷头使用寿命长、打印材料类型广泛以及墨滴尺寸控制精准等优点，已被广泛应用于工业打印与家庭打印市场之中。
2、压电式喷墨打印头中的压电元件通常包括下部电极、上部电极和压电体层，压电体层设置在下部电极与上部电极之间。目前，压电体层的压电材料多采用多晶材料制备，然而多晶压电材料的加工有赖于干法刻蚀技术，该技术虽然可以保证制备精度，但难以避免地会对衬底材料造成不必要的刻蚀，影响器件性能；同时，干法刻蚀技术的加工成本也较高。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题是为了克服现有技术中压电材料多采用多晶材料制备，难以避免地会对衬底材料造成不必要的刻蚀，影响器件性能，加工成本也较高的缺陷，提供一种致动器结构及包含其的液体喷吐装置。
2、本专利技术是通过下述技术方案来解决上述技术问题：
3、一种致动器结构，其特点在于，其包括振动膜、压电材料、下部电极...
【技术保护点】
1.一种致动器结构，其特征在于，其包括振动膜、压电材料、下部电极和上部电极，所述压电材料的顶面和底面分别连接于所述上部电极和所述下部电极，所述振动膜连接于所述下部电极的底面，所述压电材料为单晶压电薄膜材料。
2.如权利要求1所述的致动器结构，其特征在于，所述下部电极为共地电极，所述上部电极为信号电极，所述致动器结构还包括引线层，所述引线层的一端电连接于所述上部电极，所述引线层的另一端向外延伸出并用于与外部控制区相连接。
3.如权利要求2所述的致动器结构，其特征在于，所述致动器结构还包括介电层，所述介电层设置于所述引线层和所述下部电极之间。>
4.如权利要...
【技术特征摘要】
1.一种致动器结构，其特征在于，其包括振动膜、压电材料、下部电极和上部电极，所述压电材料的顶面和底面分别连接于所述上部电极和所述下部电极，所述振动膜连接于所述下部电极的底面，所述压电材料为单晶压电薄膜材料。
2.如权利要求1所述的致动器结构，其特征在于，所述下部电极为共地电极，所述上部电极为信号电极，所述致动器结构还包括引线层，所述引线层的一端电连接于所述上部电极，所述引线层的另一端向外延伸出并用于与外部控制区相连接。
3.如权利要求2所述的致动器结构，其特征在于，所述致动器结构还包括介电层，所述介电层设置于所述引线层和所述下部电极之间。
4.如权利要求3所述的致动器结构，其特征在于，所述介电层的材质为al2o3、sio2、树脂或者锆钛酸铅。
5.如权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员：付伟欣，
申请(专利权)人：苏州众行汇创科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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