下载致动器结构及包含其的液体喷吐装置的技术资料

文档序号:45617082

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本发明公开了一种致动器结构及包含其的液体喷吐装置,所述致动器结构包括振动膜、压电材料、下部电极和上部电极,所述压电材料的顶面和底面分别连接于所述上部电极和所述下部电极,所述振动膜连接于所述下部电极的底面,所述压电材料为单晶压电薄膜材料。所述...
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