求取成像光学系统的浸液物镜的偏移值的方法及组件和计算机程序技术方案

提出一种用于求取用以对成像光学系统的浸液物镜进行偏移校正的偏移值的方法100。该方法包括以下步骤：在没有浸液的情况下利用光学系统的参考物镜和浸液物镜对对象成像101、110、120，以及在有浸液的情况下借助对象的成像求取103、131、141参考物镜与浸液物镜之间的偏移值。此外，提出一种组件200和一种计算机程序。

【技术实现步骤摘要】

技术介绍

技术实现思路

【技术保护点】

1.一种用于求取用以对成像光学系统(2)的浸液物镜(1)进行偏移校正的偏移值的方法(100)，所述方法(100)包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的方法(100)，包括：

3.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中求取用于进行齐焦性校正和/或同心性校正的偏移值。

4.根据权利要求3所述的方法(100)，其中求取用于进行齐焦性校正的偏移值包括以下步骤：

5.根据权利要求4所述的方法(100)，具有：

6.根据权利要求3至5中任一项所述的方法(100)，其中求取用于进行同心性校正的偏移值包括以下步骤：>

7.根据权利...

【技术特征摘要】

1.一种用于求取用以对成像光学系统(2)的浸液物镜(1)进行偏移校正的偏移值的方法(100)，所述方法(100)包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的方法(100)，包括：

3.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中求取用于进行齐焦性校正和/或同心性校正的偏移值。

4.根据权利要求3所述的方法(100)，其中求取用于进行齐焦性校正的偏移值包括以下步骤：

5.根据权利要求4所述的方法(100)，具有：

6.根据权利要求3至5中任一项所述的方法(100)，其中求取用于进行同心性校正的偏移值包括以下步骤：

7.根据权利要求6所述的方法(100)，其中基于在没有浸液的情况下求取到的对象位置和至少一个同心性校正值(d)求取所述同心性偏移值。

8.根据权利要求4至7中任一项所述的方法(100)，具有：

9.根据权利要求4至8中任一项所述的方法(100)，具有：

10.根据权利要求9所述的方法(100)，具有：

11.根据权利要求4至10中任一项所述的方法(100)，其中其中所...

【专利技术属性】
技术研发人员：T·奥尔特，C·迪特里希，
申请(专利权)人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司，
类型：发明
国别省市：