下载求取成像光学系统的浸液物镜的偏移值的方法及组件和计算机程序的技术资料

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提出一种用于求取用以对成像光学系统的浸液物镜进行偏移校正的偏移值的方法100。该方法包括以下步骤:在没有浸液的情况下利用光学系统的参考物镜和浸液物镜对对象成像101、110、120,以及在有浸液的情况下借助对象的成像求取103、131、14...
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