一种旋转靶材用背管焊接方法技术

本发明专利技术公开了一种旋转靶材用背管焊接方法，属于金属焊接技术领域。包括以下步骤：(1)将焊接端头已加工好的TA2钛管和不锈钢管端头部位进行焊接前打磨、抛光及清洗；(2)在TA2钛管与不锈钢管连接处需要焊接的端头部位镶垫钛合金焊料垫片，固定；(3)在真空电子束设备焊接室中对钛管与不锈钢管焊接接头部位进行预热焊接；对钛管与不锈钢管焊接接头部位进行正式焊接；对钛管与不锈钢管焊接接头部位进行修饰焊接；(4)焊接结束后，取出背管，加工钛管与不锈钢管焊接处，使焊接处外观尺寸与未焊接处外观尺寸一致；加工完成后，对背管进行氦泄漏检测。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于金属焊接，具体涉及一种旋转靶材用背管焊接方法。

技术介绍

1、溅射靶材作为新兴高科技材料、靶材可分为旋转靶材及平面靶材。旋转靶材是一种管状靶材，其中很多靶材如钼旋转靶、ito旋转靶等分为两部分组成，外围为靶材、内部为空心背管，背管材质一般为ta2工业纯钛或不锈钢，背管又由管坯、法兰及堵头三部分组成，这三部分组成需要焊接连接在一起，其中涉及到钛与异种金属不锈钢或钛与钛合金材料的焊接问题，目前常用的焊接方式为阴极氩弧焊，此种焊接方法虽然成本较低，但过程中不可控因素较多，已出现焊接深度不足，焊缝存在空隙，焊接效果差等缺点。靶材领域对背管的要求非常严格，背管焊接效果直接影响靶材质量及使用，因此电子束焊接方式在靶材用背管焊接领域应用越来越广。本专利技术旨在探索一种旋转靶材用背管电子束焊接方法及工艺过程。

2、公开号为cn116690107a的专利申请公开了一种用于旋转靶材的钛背管的制备方法，其具体方法为先加工无缝钛管的内径尺寸，再加工钛管的外表面，之后将钛管进行退火热处理，然后采用校平机对钛管进行热校直，之后再装配法兰、螺纹堵头进行焊接，最本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种旋转靶材用背管焊接方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种旋转靶材用背管焊接方法，其特征在于，所述打磨过程采用240金刚石砂纸，抛光过程先采用240目百洁布再使用800目百洁布抛光，清洗过程使用无尘布及异丙醇或无水乙醇进行清洗。

3.根据权利要求1所述的一种旋转靶材用背管焊接方法，其特征在于，所述钛管与不锈钢管之间的焊接连接材料为TC4、TC11和TB2钛合金薄片材料中的一种或几种组合，薄片材料厚度为1～2mm。

4.根据权利要求1所述的一种旋转靶材用背管焊接方法，其特征在于，所述固定的具体方法为将钛管与不锈钢管结合体的一...

【技术特征摘要】

1.一种旋转靶材用背管焊接方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种旋转靶材用背管焊接方法，其特征在于，所述打磨过程采用240金刚石砂纸，抛光过程先采用240目百洁布再使用800目百洁布抛光，清洗过程使用无尘布及异丙醇或无水乙醇进行清洗。

3.根据权利要求1所述的一种旋转靶材用背管焊接方法，其特征在于，所述钛管与不锈钢管之间的焊接连接材料为tc4、tc11和tb2钛合金薄片材料中的一种或几种组合，薄片材料厚度为1～2mm。

4.根据权利要求1所述的一种旋转靶材用背管焊接方法，其特征在于，所述固定的具体方法为将钛管与不锈钢管结合体的一端采用三爪中空卡盘固定在焊接平台工件上，在管体的中部及另一端部分别采用带滚轮的中心支撑架支撑，过程中调节中心支撑架滚轮位置使钛管与不锈钢管在同一水平面上。

5.根据权利要求1所述的一种旋转靶材用背管焊接方法，其特征在于，所述预热焊接参数为加速电压为50～70v，聚焦电流为1600～1700ma，灯丝电流为20～25a，电子束流为10～15ma，焊接速度为450～500mm/min。

6.根据权利要求1所述的一种旋转靶材用背管焊接方法，其特征在于，所述正式焊接参数为加速电压为50～70v，...

【专利技术属性】
技术研发人员：岳雷庭，尚其忠，王文豹，周鹏飞，朱俊康，
申请(专利权)人：先导薄膜材料安徽有限公司，
类型：发明
国别省市：