【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造，特别是涉及一种射频信号控制电路、射频电源、半导体工艺设备。
技术介绍
1、随着半导体工艺复杂度增加，部分半导体工艺过程中需使用高精度大功率输出射频电源，在对输出射频电源进行采集反射功率时，由于电源前向功率输出精度依赖于反射功率检测精度，使用现有控制方式，存在一定反射情况下，导致采集到的反射功率并不准确的情况。
技术实现思路
1、鉴于上述问题，提出了本专利技术实施例以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的射频信号控制电路、射频电源、半导体工艺设备。
2、为了解决上述问题，本专利技术实施公开了一种射频信号控制电路，包括：
3、功放模块，用于获取射频信号，对所述射频信号进行放大，将放大后的射频信号输出；
4、合成与功率采集模块，与所述功放模块连接，用于接收所述功放模块输出的射频信号，根据所述射频信号确定采集信号；
5、信号处理模块，与所述合成与功率采集模块连接，用于接收所述合成与功率信号输出的所述采集信号，根据...
【技术保护点】
1.一种射频信号控制电路，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的电路，其特征在于，所述合成与功率采集模块还与负载模块连接，所述合成与功率采集模块用于根据所述射频信号合成得到射频功率信号，将所述射频功率信号输入至所述负载模块，并检测所述负载模块的负载阻抗值和反射系数，当所述负载阻抗值不为预设阻抗值，且所述反射系数不为预设值时，从所述射频功率信号中采集得到射频电流信号和射频输入电压信号，将所述射频电流信号和所述射频输入电压信号作为所述采集信号输出；当所述负载阻抗值不为所述预设阻抗值，且所述反射系数为所述预设值时，从所述射频功率信号中采集得到前向功率耦合电...
【技术特征摘要】
1.一种射频信号控制电路，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的电路，其特征在于，所述合成与功率采集模块还与负载模块连接，所述合成与功率采集模块用于根据所述射频信号合成得到射频功率信号，将所述射频功率信号输入至所述负载模块，并检测所述负载模块的负载阻抗值和反射系数，当所述负载阻抗值不为预设阻抗值，且所述反射系数不为预设值时，从所述射频功率信号中采集得到射频电流信号和射频输入电压信号，将所述射频电流信号和所述射频输入电压信号作为所述采集信号输出；当所述负载阻抗值不为所述预设阻抗值，且所述反射系数为所述预设值时，从所述射频功率信号中采集得到前向功率耦合电压信号和反射功率耦合电压信号，将所述前向功率耦合电压信号和所述反射功率耦合电压信号作为所述采集信号输出。
3.根据权利要求2所述的电路，其特征在于，所述信号处理模块还用于接收所述合成与功率采集模块输出的射频电流信号和射频输入电压信号，或，接收所述合成与功率采集模块输入的前向功率耦合电压信号和反射功率耦合电压信号，根据所述射频电流信号和所述射频输入电压信号确定前向功率和反射功率，或，根据前向功率耦合电压信号和反射功率耦合电压信号确定前向功率和反射功率；将所述前向功率和所述反射功率输出。
4.根据权利要求3所述的电路，其特征在于，所述信号处理模块包括第一处理模块、第二处理模块、第一模数转换模块，所述第一处理模块用于根据所述射频电流信号和射频输入电压信号确定第一前向功率，将所述第一前向功率输入至所述第一模数转换模块，所述第二处理模块用于根据所述射频电流信号和射频输入电压信号确定第一反射功率，将所述第一反射功率输入至所述模数转换模块，所述第一模数转换模块用于将所述第一前向功率和所述第一反射功率从模拟信号转换为数字信号，并将数字信号形式的所述第一前向功率和所述第一反射功率发送至所述控制器。
5.根据权利要求4所述的电路，其特征在于，所述第一处理模块包括加法电路、第一乘法器、第一低通滤波器、第一运放模块，所述加法电路用于根据所述射频电流信号和所述射频输入电压信号进行求和得到第一电压信号，所述第一乘法器用于对所述第一电压信号进行平方计算得到第一信号，所述第一低通滤波器用于对所述第一信号进行滤波得到第二信号，所述第一运放模块用于获取第一运放倍数，根据所述第一运放倍数对所述第二信号进行放大得到所述第一前向功率。
6.根据权利要求4所述的电路，其特征在于，所述第二处理模块包括减法电路、第二乘法器、第二...
【专利技术属性】
技术研发人员：尹萍，
申请(专利权)人：北京华丞电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。