下载一种射频信号控制电路、射频电源、半导体工艺设备的技术资料

文档序号:45403715

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本发明提供了一种射频信号控制电路,包括功放模块、合成与功率采集模块、信号处理模块、控制器;本发明通过功放模块对射频信号进行放大,并由合成与功率采集模块实时监测射频信号的功率特性,生成采集信号,信号处理模块可以根据采集信号精确确定出前向功率和...
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