一种光固化成型的碳化硅晶舟及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种光固化成型的碳化硅晶舟及其制备方法，属于碳化硅晶舟材料制备领域，本发明专利技术通过优化预聚体、稀释剂、光引发剂以及碳化硅混合粉，成分相互作用，并结合光固化3D打印工艺，使得碳化硅混合粉体与预聚物更好结合，固化成型后，得到精度高、表面质量优异、无变形的大尺寸、密度符合要求的碳化硅晶舟，且烧结后不需要二次加工，节约了加工成本和制备时间，能解决现有技术中由于碳化硅粉体深色，散色作用强，与光敏树脂折射率差值大，能以成型且难以获得密度高的碳化硅晶舟的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及碳化硅晶舟材料制备领域，具体而言，涉及一种光固化成型的碳化硅晶舟及其制备方法。

技术介绍

1、碳化硅陶瓷具有抗氧化性强、耐磨性能好、硬度高、热稳定性好、高温强度大、热膨胀系数小、热导率大以及抗热震和耐化学腐蚀等优异的性能。但正是由于耐磨性能好、硬度高这些性能，使其作为器件和配件，在成型、加工过程中具有较大的障碍，尤其对于结构和形状复杂的异形件，通过常规成型加工方式很难实现，从而导致了碳化硅陶瓷复杂器件的制造困难，严重制约了其更加广泛和深入应用，而通过增材制造的方法可以直接成型复杂的异形件。

2、碳化硅晶舟在电子半导体、可再生能源和5g技术等领域的应用前景广阔。晶舟由四根立柱和上下底板组成，立柱的外表面设置有四个方向对应的放置卡槽，用于放置晶圆片，因此对晶柱的尺寸精度要求很高，需要采用增材制造的方式。碳化硅增材制造的方式有粉末印刷法、光固化3d打印等。粉末印刷法，其通过制备的粉料和粘结剂进行相互粘连成型，导致打印素坯的密度低，进而烧结后碳化硅复合材料的密度低，力学性能差，在碳化硅的应用领域中，要求碳化硅具有较高的密度的强度。因此，粉本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光固化成型的碳化硅晶舟，其特征在于，所述碳化硅晶舟的体积密度为2.9g/cm3以上。

2.一种光固化成型的碳化硅晶舟的制备方法，其特征在于，所述制备方法用于制备如权利要求1所述的碳化硅晶舟，所述制备方法包括以下步骤：

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述预聚物为脂肪族聚氨酯六丙烯酸酯、酚醛环氧丙烯酸酯以及改性环氧丙烯酸酯的中至少一种。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述预聚物的添加量占所述前驱树脂质量的30wt％～50wt％。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述稀释剂为二缩三丙二醇二丙烯...

【技术特征摘要】

1.一种光固化成型的碳化硅晶舟，其特征在于，所述碳化硅晶舟的体积密度为2.9g/cm3以上。

2.一种光固化成型的碳化硅晶舟的制备方法，其特征在于，所述制备方法用于制备如权利要求1所述的碳化硅晶舟，所述制备方法包括以下步骤：

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述预聚物为脂肪族聚氨酯六丙烯酸酯、酚醛环氧丙烯酸酯以及改性环氧丙烯酸酯的中至少一种。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述预聚物的添加量占所述前驱树脂质量的30wt％～50wt％。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述稀释剂为二缩三丙二醇二丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、乙氧化双酚a二丙稀酸脂以及月桂酸甲基丙烯酸酯中的至少一种。

6.根据权利要求5所述的制备方...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨莞榕，麦耀威，蒋大梅，
申请(专利权)人：广东君璟科技有限公司，
类型：发明
国别省市：