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一种光固化成型的碳化硅晶舟及其制备方法技术
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文档序号:45131427
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本发明公开了一种光固化成型的碳化硅晶舟及其制备方法,属于碳化硅晶舟材料制备领域,本发明通过优化预聚体、稀释剂、光引发剂以及碳化硅混合粉,成分相互作用,并结合光固化3D打印工艺,使得碳化硅混合粉体与预聚物更好结合,固化成型后,得到精度高、表面...
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