【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造设备领域，具体涉及一种多片行星式mocvd设备的卫星盘转速测量系统及方法。
技术介绍
1、半导体薄膜沉积反应腔中设置有自转的石墨母盘和围绕母盘中轴线并与母盘一起旋转的行星盘(卫星盘)，石墨母盘通过机械电机驱动，转速可控，一般在20rpm左右，石墨母盘上分布多个石墨小盘，即卫星盘，用于承载晶圆生长外延薄膜，卫星盘通过氩气或氢气吹动悬浮自转，其具体旋转速度未知。在半导体薄膜沉积工艺中，卫星盘的转速对于流场均匀性、温场均匀性以及薄膜生长一致性有着重要影响。因此，对卫星盘的转速进行测量具有重要意义。半导体外延生长工艺中对卫星盘的转速测量由于复杂的环境，例如母盘、卫星盘均在旋转，需要考虑复合运动状态下的计算、以及高温、气流影响等，变得非常困难。
2、我司已开展这方面研究，可以快速得知卫星盘的转速，但是后续的研究发现在实际应用中还存在一些不足，比如理论上计算一个卫星盘的转速即可当做所有卫星盘的转速，但在实践中发现由于尺寸偏差、工艺磨损等因素每个卫星盘的转速也会存在差异，多个卫星盘同时处理可以明显提高加工效率，但是...
【技术保护点】
1.一种多片行星式MOCVD设备的卫星盘转速测量方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种多片行星式MOCVD设备的卫星盘转速测量方法，其特征在于，在步骤S100：获取母盘相对初始位置的旋转角度步骤之前还包括如下步骤：
3.根据权利要求2所述的一种多片行星式MOCVD设备的卫星盘转速测量方法，其特征在于，在步骤S103：将获取的n个识别角度以及n个卫星盘的身份信息一一对应存储得到所述识别角度与所述卫星盘身份信息的对应关系之后还包括：
4.根据权利要求1所述的一种多片行星式MOCVD设备的卫星盘转速测量方法，其特征...
【技术特征摘要】
1.一种多片行星式mocvd设备的卫星盘转速测量方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种多片行星式mocvd设备的卫星盘转速测量方法，其特征在于，在步骤s100：获取母盘相对初始位置的旋转角度步骤之前还包括如下步骤：
3.根据权利要求2所述的一种多片行星式mocvd设备的卫星盘转速测量方法，其特征在于，在步骤s103：将获取的n个识别角度以及n个卫星盘的身份信息一一对应存储得到所述识别角度与所述卫星盘身份信息的对应关系之后还包括：
4.根据权利要求1所述的一种多片行星式mocvd设备的卫星盘转速测量方法，其特征在于，在步骤s100：获取母盘相对初始位置的旋转角度步骤之前还包括如下步骤：
5.根据权利要求1所述的一种多片行星式mocvd设备的卫星盘转速测量方法，其特征在于，所述步骤根据获取的所述卫星盘的高度信息以及预存的所述卫星盘的高度信息与转速对应关系获取当前在所述测距传感器下所述卫星盘的转速包括：
6.根据权利要求1所述的一种多片行星式mocvd设备的卫星盘转速测量方...
【专利技术属性】
技术研发人员：王涛，郭军强，王永，夏杨建，
申请(专利权)人：一塔半导体安徽有限公司，
类型：发明
国别省市：
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