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本发明公开了一种多片行星式MOCVD设备的卫星盘转速测量方法及系统，涉及半导体制造设备领域。该方法包括以下步骤：获取母盘相对初始位置的旋转角度；将所述旋转角度与预存的识别角度进行匹配；当匹配成功后，获取在测距传感器下的当前所述卫星盘的身份信...
该专利属于一塔半导体（安徽）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过一塔半导体（安徽）有限公司授权不得商用。

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