一种线路板DES连线显影蚀刻退膜装置制造方法及图纸

本技术属于线路板DES连线显影蚀刻退膜技术领域，具体的说是一种线路板DES连线显影蚀刻退膜装置，包括退膜盆；第一支撑架，固定安装在退膜盆外表面；移动机构，转动安装在第一支撑架一侧；喷液机构，固定安装在退膜盆一侧；翻转机构，固定安装在退膜盆内表面底壁；支撑机构，固定安装在退膜盆内腔；所述喷液机构包括水泵，所述水泵进水端固定安装在退膜盆一侧，所述水泵出水端固定连接有伸缩管，所述伸缩管一端固定连接有横管，所述横管外表面固定连接有两个气缸；通过若干喷头并使第一电机带动第一螺纹杆驱动横梁在滑槽内滑动，能够使退膜液在电路板的表面喷洒的更加均匀，电热管对退膜液进行加热，加速退膜液与膜的反应速率，提升退膜效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于线路板des连线显影蚀刻退膜，具体的说是一种线路板des连线显影蚀刻退膜装置。

技术介绍

1、影蚀刻退膜装置是一种在半导体制造过程中使用的设备，用于处理和加工半导体芯片，它包括显影系统、蚀刻系统和退膜系统等部分组成，是半导体加工中不可或缺的一种装置。

2、经检索，公开号为cn215420989u的专利公开了一种线路板des线显影蚀刻退膜装置，属于蚀刻退膜领域。该专利包括安装板，安装板一表面固定连接有若干第一连接板，第一连接板一表面固定安装有退膜机，退膜机下表面固定连接若干第二连接板，第二连接板两侧面均固定连接滑轨，滑轨一表面滑动连接有滑块，滑块两相对表面固定安装有滑板，滑板上表面固定连接有斜坡，滑板上表面开设有通槽，滑板下表面固定连接有第三连接板，第三连接板下表面螺纹连接有固定板。

3、目前现有技术中，能够将退膜机通过喷液口向线路板喷射药液退膜，但是药液在喷洒过程中容易过于集中，致使药液对线路板的喷洒不够均匀，从而影响退膜效果。

4、因此，针对上述问题提出一种线路板des连线显影蚀刻退膜装置。

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【技术保护点】

1.一种线路板DES连线显影蚀刻退膜装置，包括退膜盆（1）；

2.根据权利要求1所述的一种线路板DES连线显影蚀刻退膜装置，其特征在于：所述第一支撑架（2）有两个，两个所述第一支撑架（2）分别固定安装在退膜盆（1）两侧，两个第一支撑架（2）相对面均开设有滑槽（21）。

3.根据权利要求1所述的一种线路板DES连线显影蚀刻退膜装置，其特征在于：所述移动机构（3）包括第一螺纹杆（31），所述第一螺纹杆（31）转动安装在滑槽（21）内表面且一端贯穿并延伸出第一支撑架（2），所述延伸出第一支撑架（2）的第一螺纹杆（31）固定连接有皮带轮（32），两个所述皮带轮（32）外表...

【技术特征摘要】

1.一种线路板des连线显影蚀刻退膜装置，包括退膜盆（1）；

2.根据权利要求1所述的一种线路板des连线显影蚀刻退膜装置，其特征在于：所述第一支撑架（2）有两个，两个所述第一支撑架（2）分别固定安装在退膜盆（1）两侧，两个第一支撑架（2）相对面均开设有滑槽（21）。

3.根据权利要求1所述的一种线路板des连线显影蚀刻退膜装置，其特征在于：所述移动机构（3）包括第一螺纹杆（31），所述第一螺纹杆（31）转动安装在滑槽（21）内表面且一端贯穿并延伸出第一支撑架（2），所述延伸出第一支撑架（2）的第一螺纹杆（31）固定连接有皮带轮（32），两个所述皮带轮（32）外表面共同缠绕连接有皮带（35），所述第一支撑架（2）一侧固定安装有连接板（34），所述连接板（34）顶部固定安装有第一电机（33），所述第一电机（33）输出轴固定连接在皮带轮（32）一侧。

4.根据权利要求3所述的一种线路板des连线显影蚀刻退膜装置，其特征在于：所述横梁（37）一侧开设有两个第二凹槽（39），两个所述第一螺纹杆（31）分别螺纹安装在第二凹槽（39）内表面，所述横梁（37）滑动安装在滑槽（21）内表面。

5.根据权利要求1所述的一种线路板des连线显影蚀刻退膜装置，其特征在于：所述翻转机构（5）包括第一电动伸缩杆（51），所述第一电动伸缩杆（51）固定安装在退膜盆（1）内表面底壁，所述第一电动伸缩...

【专利技术属性】
技术研发人员：倪裕林，徐新志，尹旺，尹康，
申请(专利权)人：昆山蕴鼎自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：