【技术实现步骤摘要】
本技术涉及检测器具，尤其涉及一种高精度平面度检测治具。
技术介绍
1、平面度是指基板（或者基片）具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。现有技术中，平面度误差测量的常用方法有以下几种：
2、平晶干涉法：平晶干涉法是用光学平晶的工作面体现理想平面，直接以干涉条纹的弯曲程度确定被测表面的平面度误差值。这种方法主要用于测量小平面，如量规的工作面和千分尺测头测量面的平面度误差。
3、打表测量法：打表测量法是将被测零件和测微计放在标准平板上，以标准平板作为测量基准面，用测微计沿实际表面逐点或沿几条直线方向进行测量。
4、液平面法：液平面法是用液平面作为测量基准面，液平面由“连通罐”内的液面构成，然后用传感器进行测量。此法主要用于测量大平面的平面度误差。
5、光束平面法：光束平面法是采用准值望远镜和瞄准靶镜进行测量，选择实际表面上相距最远的三个点形成的光束平面作为平面度误差的测量基准面。
6、激光平面度测量仪：激光平面度测量仪用于测量大型平面的平面度误差。
7、上述平面度误差测量...
【技术保护点】
1.一种高精度平面度检测治具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的高精度平面度检测治具，其特征在于，所述水平等高柱的下端边缘呈圆弧过渡形成球头。
3.根据权利要求1所述的高精度平面度检测治具，其特征在于，所述连接骨架具有n根连接臂和中心连接件，n为大于等于1的整数；所述连接臂沿所述中心连接件的周向分布，其朝向所述中心连接件的一端与所述中心连接件连接，形成平面发散结构；所述连接臂上至少开设有一个与所述千分尺的轴套配合的第一安装孔；所述中心连接件上中心区域开设有一个与所述千分尺的轴套配合的第二安装孔。
4.根据权利要求3所述的高...
【技术特征摘要】
1.一种高精度平面度检测治具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的高精度平面度检测治具，其特征在于，所述水平等高柱的下端边缘呈圆弧过渡形成球头。
3.根据权利要求1所述的高精度平面度检测治具，其特征在于，所述连接骨架具有n根连接臂和中心连接件，n为大于等于1的整数；所述连接臂沿所述中心连接件的周向分布，其朝向所述中心连接件的一端与所述中心连接件连接，形成平面发散结构；所述连接臂上至少开设有一个与所述千分尺的轴套配合的第一安装孔；所述中心连接件上中心区域开设有一个与所述千分尺的轴套配合的第二安装孔。
4.根据权利要求3所述的高精度平面度检测治具，其特征在于，所述连接臂上每个所述第一安装孔附近沿与相应的所述第一安装孔的轴向中心垂直的方向开设有第一螺纹孔，并配合设置有第一锁紧螺钉。
5.根据权利要求3或4所述的高精度平面度检测治具，其特征在于，所述中心连接件上沿与所述第二安装孔的轴向中心垂直的方向开设有第二螺纹孔，并配...
【专利技术属性】
技术研发人员：张朝磊，阳力，
申请(专利权)人：成都畅梵科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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