【技术实现步骤摘要】
本申请涉及量子器件，尤其涉及一种超导量子电路及其制备方法。
技术介绍
1、超导量子计算作为一种具有巨大潜力的量子计算方案，其核心硬件部分的超导量子电路，主要由约瑟夫森结、谐振腔、比特电容、控制线、读取线和空气桥六部分组成。这些组件共同构成了超导量子电路的基础，使其能够在极低温环境下实现高效的量子信息处理。
2、在超导量子电路的加工制作流程中，通常先在衬底上制备出超导-绝缘-超导的薄膜层，然后通过刻蚀工艺定义出约瑟夫森结的上下电极区域，并利用绝缘层包裹覆盖约瑟夫森结区域；最终，通过填充超导金属将上下电极引出，与外部电路进行连通。虽然这种工艺能够提高约瑟夫森结性能的均匀性和稳定性，并更好地兼容了传统半导体工艺设备，但其整体流程较为繁琐。
技术实现思路
1、本申请的主要目的在于提供一种超导量子电路及其制备方法，有效简化了超导量子电路的制备工艺。
2、为实现上述目的，本申请实施例提供一种超导量子电路制备方法，包括以下步骤：
3、提供衬底，并在所述衬底的一侧表面形...
【技术保护点】
1.一种超导量子电路制备方法，其特征在于，所述超导量子电路制备方法包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的超导量子电路制备方法，其特征在于，所述在所述衬底的一侧表面形成大结构电路的初始结构的步骤包括：
3.如权利要求1所述的超导量子电路制备方法，其特征在于，所述在所述衬底的一侧表面形成大结构电路的初始结构的步骤包括：
4.如权利要求1至3中任一项所述的超导量子电路制备方法，其特征在于，所述势垒层由所述第一超导层部分氧化形成。
5.如权利要求1至3中任一项所述的超导量子电路制备方法，其特征在于，所述第一超导层的厚度为100～
【技术特征摘要】
1.一种超导量子电路制备方法，其特征在于，所述超导量子电路制备方法包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的超导量子电路制备方法，其特征在于，所述在所述衬底的一侧表面形成大结构电路的初始结构的步骤包括：
3.如权利要求1所述的超导量子电路制备方法，其特征在于，所述在所述衬底的一侧表面形成大结构电路的初始结构的步骤包括：
4.如权利要求1至3中任一项所述的超导量子电路制备方法，其特征在于，所述势垒层由所述第一超导层部分氧化形成。
5.如权利要求1至3中任一项所述的超导量子电路制备方法，其特征在于，所述第一超导层的厚度为100～1000nm；
6.如权利要求1所述的超导量子电路制备方法，其特征在于，所述制备隔离连接件的步骤包括：
7.如权利要求1或6所述的超导量子电路制备方法，其特征在于，所述隔离连接件包括：第...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑伟文，张祥，
申请(专利权)人：量子科技长三角产业创新中心，
类型：发明
国别省市：
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