一种应用于FIB制样和APT测试的夹具制造技术

本申请公开一种应用于FIB制样和APT测试的夹具，夹具包括安装块、载网、压紧弹片以及连接杆；在进行FIB制样的时候，安装块被固定安装在离子束系统的工作台上，然后采用压紧弹片将安装块上的载网压紧，样品安装在载网上，样品加工完成后，通过将连接杆与安装块进行连接，然后手持连接杆将整个夹具转移至TEM附近，在此转移过程中，由于压紧弹片时刻保持压紧载网，从而可以保证载网上的物料在转移过程中不会出现掉落风险，在TEM表征完成后，以连接杆作为与APT测试设备的连接部位，从而将整个夹具安装在APT测试设备上进行测试。本申请的夹具可应用在FIB制样工序中以及APT测试工序中，载网通过压紧弹片进行压紧，载网的稳定性好，而且载网的取放是比较方便的。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及材料表征，尤其涉及一种应用于fib制样和apt测试的夹具。

技术介绍

1、fib制样指的是采用聚焦离子束技术(fib)制备样品，其常用于制备电子显微镜观察或其他精密分析的样品。apt测试指的是三维原子探针测试，够在原子尺度上分析样品的成分。

2、使用fib技术制备apt测试的样品时，样品需要制备在离子束系统的工作台上，制备完成后需要将载网和样品一起取下放置在tem(透射电子显微镜)下进行表征，其中，将样品转移到tem进行表征过程中样品容易发生掉落，在表征结束后还需要将其安装在apt测试设备上进行测试，因此，设计一款稳定性好且可通用于fib制样以及apt测试的夹具是本领域急需解决的问题。

技术实现思路

1、本申请实施例提供一种应用于fib制样和apt测试的夹具，能够适用多种设备，且稳定性好。

2、本申请提供一种应用于fib制样和apt测试的夹具，包括安装块、载网、压紧弹片以及连接杆；安装块安装于外部设备上；载网设置在安装块上，样品胚料设置在载网上；压紧弹片的一端设置在安装块上，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种应用于FIB制样和APT测试的夹具，其特征在于，包括安装块(1)、载网(2)、压紧弹片(3)以及连接杆(4)；

2.根据权利要求1所述的应用于FIB制样和APT测试的夹具，其特征在于，所述安装块(1)上设置有安装槽(1a)，至少部分的载网(2)设置于安装槽(1a)内。

3.根据权利要求2所述的应用于FIB制样和APT测试的夹具，其特征在于，所述载网(2)的一端设置有多个安装齿(21)，安装齿(21)用于与样品胚料连接，所述安装块(1)的一侧设置有水平内凹的第一避让槽(1b)，安装齿(21)在高度方向的投影落入第一避让槽(1b)内。>

4.根据权利...

【技术特征摘要】

1.一种应用于fib制样和apt测试的夹具，其特征在于，包括安装块(1)、载网(2)、压紧弹片(3)以及连接杆(4)；

2.根据权利要求1所述的应用于fib制样和apt测试的夹具，其特征在于，所述安装块(1)上设置有安装槽(1a)，至少部分的载网(2)设置于安装槽(1a)内。

3.根据权利要求2所述的应用于fib制样和apt测试的夹具，其特征在于，所述载网(2)的一端设置有多个安装齿(21)，安装齿(21)用于与样品胚料连接，所述安装块(1)的一侧设置有水平内凹的第一避让槽(1b)，安装齿(21)在高度方向的投影落入第一避让槽(1b)内。

4.根据权利要求2或3所述的应用于fib制样和apt测试的夹具，其特征在于，所述安装槽(1a)的内底面设置有竖向贯通安装块(1)的避让孔(1c)，压紧弹片(3)在高度方向的至少部分投影与避让孔(1c)重叠。

5.根据权利要求4所述的应用于fib制样和apt测试的夹具，其特征在于，所述安装块(1)的底部设置有第二避让槽(1d)，第二避让槽(1d)的内顶面配置为避让孔(1c)的下开口端面。

6.根据权利要求1所述的应用于fib制样和apt测试的夹具，其特征在于，所述连...

【专利技术属性】
技术研发人员：李轶楠，喻旺珍，
申请(专利权)人：长沙凯普乐科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：