【技术实现步骤摘要】
本申请涉及材料表征，尤其涉及一种应用于fib制样和apt测试的夹具。
技术介绍
1、fib制样指的是采用聚焦离子束技术(fib)制备样品，其常用于制备电子显微镜观察或其他精密分析的样品。apt测试指的是三维原子探针测试，够在原子尺度上分析样品的成分。
2、使用fib技术制备apt测试的样品时，样品需要制备在离子束系统的工作台上，制备完成后需要将载网和样品一起取下放置在tem(透射电子显微镜)下进行表征，其中，将样品转移到tem进行表征过程中样品容易发生掉落，在表征结束后还需要将其安装在apt测试设备上进行测试，因此，设计一款稳定性好且可通用于fib制样以及apt测试的夹具是本领域急需解决的问题。
技术实现思路
1、本申请实施例提供一种应用于fib制样和apt测试的夹具，能够适用多种设备，且稳定性好。
2、本申请提供一种应用于fib制样和apt测试的夹具，包括安装块、载网、压紧弹片以及连接杆；安装块安装于外部设备上；载网设置在安装块上，样品胚料设置在载网上；压紧弹片的一端设置在安装块上，另一端设置用于将载网压紧在安装块上；连接杆的一端沿水平方向可拆卸式连接于安装块上。
3、上述方案优选的，安装块上设置有安装槽，至少部分的载网设置于安装槽内。
4、上述方案优选的，载网的一端设置有多个安装齿，安装齿用于与样品胚料连接，安装块的一侧设置有水平内凹的第一避让槽，安装齿在高度方向的投影落入第一避让槽内。
5、上述方案优选的，安装槽的内
6、上述方案优选的，安装块的底部设置有第二避让槽，第二避让槽的内顶面配置为避让孔的下开口端面。
7、上述方案优选的，连接杆的一端与设置在安装块上的第一螺纹孔螺纹连接。
8、上述方案优选的，连接杆包括滑杆、套筒、转盖以及螺杆；滑杆的一端与第一螺纹孔螺纹连接，套筒同轴套设于滑杆的另一端上，且套筒和滑杆仅可在轴向相对滑动；转盖可转动式设置在套筒背离滑杆的一端；螺杆同轴设置在套筒内，且螺杆的一端与转盖固定连接，另一端与设置在滑杆端面上的第二螺纹孔螺纹连接。
9、上述方案优选的，滑杆的外周上设置有导条，导条的长度方向配置为滑杆的轴向，套筒的内周上设置有导槽，通过导槽和导条的配合实现套筒和滑杆仅可在滑杆的轴向相对滑动。
10、上述方案优选的，转盖与套筒的端部之间具有磁吸力。
11、本申请的应用于fib制样和apt测试的夹具至少具有如下有益效果：
12、本申请的夹具包括安装块、载网、压紧弹片以及连接杆；在进行fib制样的时候，安装块被固定安装在离子束系统的工作台上，然后采用压紧弹片将安装块上的载网压紧，外部的机械手或其他设备将样品胚料放置在载网上，并通过外部设备喷涂材料将样品胚料与载网连接在一起，此步骤完成后可以利用离子束系统对样品胚料进行加工，加工完成后，通过将连接杆与安装块进行连接，然后手持连接杆将整个夹具转移至tem附近，在此转移过程中，由于压紧弹片时刻保持压紧载网，从而可以保证载网上的物料在转移过程中不会出现掉落风险，相比于采用人手用镊子夹持载网转移的方式，本申请的结构明显更加稳定，在tem表征完成后，再次将tem上的载网和样品装配到安装块上并通过压紧弹片压紧载网，然后以连接杆作为与apt测试设备的连接部位，从而将整个夹具安装在apt测试设备上进行测试。本申请的夹具可应用在fib制样工序中以及apt测试工序中，其中，载网通过压紧弹片进行压紧，载网的稳定性好，而且载网的取放是比较方便的。
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1.一种应用于FIB制样和APT测试的夹具，其特征在于，包括安装块(1)、载网(2)、压紧弹片(3)以及连接杆(4)；
2.根据权利要求1所述的应用于FIB制样和APT测试的夹具，其特征在于，所述安装块(1)上设置有安装槽(1a)，至少部分的载网(2)设置于安装槽(1a)内。
3.根据权利要求2所述的应用于FIB制样和APT测试的夹具，其特征在于，所述载网(2)的一端设置有多个安装齿(21)，安装齿(21)用于与样品胚料连接，所述安装块(1)的一侧设置有水平内凹的第一避让槽(1b)，安装齿(21)在高度方向的投影落入第一避让槽(1b)内。
4.根据权利要求2或3所述的应用于FIB制样和APT测试的夹具，其特征在于，所述安装槽(1a)的内底面设置有竖向贯通安装块(1)的避让孔(1c)，压紧弹片(3)在高度方向的至少部分投影与避让孔(1c)重叠。
5.根据权利要求4所述的应用于FIB制样和APT测试的夹具，其特征在于，所述安装块(1)的底部设置有第二避让槽(1d)，第二避让槽(1d)的内顶面配置为避让孔(1c)的下开口端面。
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