下载一种应用于FIB制样和APT测试的夹具的技术资料

文档序号:45014714

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本申请公开一种应用于FIB制样和APT测试的夹具,夹具包括安装块、载网、压紧弹片以及连接杆;在进行FIB制样的时候,安装块被固定安装在离子束系统的工作台上,然后采用压紧弹片将安装块上的载网压紧,样品安装在载网上,样品加工完成后,通过将连接杆...
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